| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-21页 |
| 1.1 课题研究的背景与意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状及分析 | 第11-19页 |
| 1.2.1 国内外微尺度测量研究现状 | 第11-16页 |
| 1.2.2 自组装技术研究现状 | 第16-18页 |
| 1.2.3 国内外研究现状总结 | 第18-19页 |
| 1.3 课题的主要研究内容 | 第19-21页 |
| 第2章 光纤光栅探针自组装原理及探针制作 | 第21-34页 |
| 2.1 引言 | 第21页 |
| 2.2 光纤光栅探针自组装原理 | 第21-25页 |
| 2.2.1 液桥力 | 第21-22页 |
| 2.2.2 铺展系数 | 第22-23页 |
| 2.2.3 基于液桥力的自组装过程 | 第23-25页 |
| 2.3 自组装光纤光栅探针封装制作 | 第25-31页 |
| 2.3.1 单模光纤腐蚀技术研究 | 第26-27页 |
| 2.3.2 光纤光栅探针自组装及其球形针尖加工 | 第27-31页 |
| 2.4 光纤光栅探针传感机理 | 第31-32页 |
| 2.5 光纤光栅探针传感特性 | 第32-33页 |
| 2.6 本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 自组装光纤光栅探针解调系统设计 | 第34-45页 |
| 3.1 引言 | 第34页 |
| 3.2 自组装光纤光栅探针解调原理 | 第34-36页 |
| 3.3 自组装光纤光栅探针解调电路设计 | 第36-41页 |
| 3.3.1 I/V转换电路设计 | 第36-40页 |
| 3.3.2 前置放大电路设计 | 第40页 |
| 3.3.3 滤波电路设计 | 第40-41页 |
| 3.4 参考光栅预应力调整装置设计 | 第41-44页 |
| 3.5 本章小结 | 第44-45页 |
| 第4章 自组装光纤光栅探针测量系统设计 | 第45-55页 |
| 4.1 引言 | 第45页 |
| 4.2 自组装光纤光栅测量框架设计 | 第45-49页 |
| 4.2.1 静态热效应分析 | 第45-46页 |
| 4.2.2 静力学分析 | 第46-47页 |
| 4.2.3 动力学分析 | 第47-49页 |
| 4.3 光纤光栅探针初始姿态调整方案 | 第49-52页 |
| 4.3.1 光纤光栅探针初始姿态调整模型 | 第49-51页 |
| 4.3.2 光纤光栅探针初始姿态调整装置 | 第51-52页 |
| 4.4 光纤光栅探针测量软件 | 第52-54页 |
| 4.4.1 压电陶瓷控制程序 | 第53页 |
| 4.4.2 姿态调整电机控制程序 | 第53-54页 |
| 4.5 本章小结 | 第54-55页 |
| 第5章 微尺度测量系统测试 | 第55-68页 |
| 5.1 引言 | 第55页 |
| 5.2 光纤光栅微尺度测量系统性能测试 | 第55-63页 |
| 5.2.1 光功率解调电路板测试 | 第56页 |
| 5.2.2 光纤光栅探针初始姿态自动调整 | 第56-59页 |
| 5.2.3 光纤光栅微尺度测量系统正交解耦特性测试 | 第59-60页 |
| 5.2.4 光纤光栅微尺度测量系统稳定性测试 | 第60页 |
| 5.2.5 光纤光栅微尺度测量系统分辨力测试 | 第60-61页 |
| 5.2.6 光纤光栅微尺度测量系统重复性测试 | 第61-63页 |
| 5.3 光纤光栅探针零件测量实验 | 第63-67页 |
| 5.4 本章小结 | 第67-68页 |
| 结论 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其他成果 | 第74-76页 |
| 致谢 | 第76页 |