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基于双波长干涉的微表面形貌测量的算法和实验研究

摘要第3-4页
ABSTRACT第4页
第一章 绪论第7-17页
    1.1 微表面形貌检测的意义第7页
    1.2 微表面形貌检测的方法第7-9页
        1.2.1 微表面三维形貌检测的非光学测量方法第8页
        1.2.2 微表面三维形貌检测的光学测量方法第8-9页
    1.3 干涉测量中的相位测量方法第9-12页
        1.3.1 时间相移法第10页
        1.3.2 空间相移法第10-11页
        1.3.3 空间载波相移法第11-12页
        1.3.4 Fourier变换法第12页
    1.4 微表面形貌检测发展的状况第12-15页
        1.4.1 国外形貌检测仪的发展状况第12-14页
        1.4.2 国内形貌检测仪的发展状况第14-15页
    1.5 本文的主要工作与各章的主要内容第15-17页
第二章 双波长干涉原理和算法研究第17-35页
    2.1 相移干涉理论第17-21页
        2.1.1 光学干涉基本理论第17-18页
        2.1.2 相移干涉法的基本原理第18-20页
        2.1.3 相位解包裹原理第20-21页
    2.2 常用的相位提取算法分类及原理介绍第21-27页
        2.2.1 定步长相位提取算法第22-23页
        2.2.2 等步长相位提取算法第23-24页
        2.2.3 未知相移量相位提取算法第24-27页
    2.3 双波长干涉原理及相位提取算法第27-34页
        2.3.1 双波长干涉原理第29-30页
        2.3.2 基于双波长干涉的相位提取算法第30-34页
    2.4 本章小结第34-35页
第三章 基于双波长干涉算法的物体重建第35-51页
    3.1 计算模拟作干涉图第35-38页
    3.2 在理想情况下重建物体表面形貌的过程第38-42页
    3.3 噪声在表面形貌重建中的影响第42-50页
        3.3.1 高斯噪声对表面形貌重建的影响第42-46页
        3.3.2 椒盐噪声对表面形貌重建的影响第46-50页
    3.4 本章小结第50-51页
第四章 基于双波长干涉微表面形貌测量的实验系统设计及研究第51-60页
    4.1 实验系统设计第51-57页
        4.1.1 光源部分第52-53页
        4.1.2 针孔滤波和扩束准直系统第53-55页
        4.1.3 迈克尔逊干涉第55-56页
        4.1.4 数据采集系统第56-57页
    4.2 微表面形貌测量的实验研究第57-59页
        4.2.1 双波长干涉系统的搭建第57-58页
        4.2.2 实验系统的调节方法第58-59页
    4.3 本章小结第59-60页
第五章 基于双波长干涉的微表面形貌测量实验结果分析第60-71页
    5.1 干涉图的校正第60-63页
    5.2 平面反射镜的测量结果及分析第63-67页
        5.2.1 曲线拟合的基本原理第63-64页
        5.2.2 测量结果及分析第64-67页
    5.3 凹面反射镜的测量结果及分析第67-70页
    5.4 本章小结第70-71页
第六章 总结与展望第71-72页
参考文献第72-75页
发表论文和参加科研情况说明第75-76页
致谢第76页

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