| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4页 |
| 第一章 绪论 | 第7-17页 |
| 1.1 微表面形貌检测的意义 | 第7页 |
| 1.2 微表面形貌检测的方法 | 第7-9页 |
| 1.2.1 微表面三维形貌检测的非光学测量方法 | 第8页 |
| 1.2.2 微表面三维形貌检测的光学测量方法 | 第8-9页 |
| 1.3 干涉测量中的相位测量方法 | 第9-12页 |
| 1.3.1 时间相移法 | 第10页 |
| 1.3.2 空间相移法 | 第10-11页 |
| 1.3.3 空间载波相移法 | 第11-12页 |
| 1.3.4 Fourier变换法 | 第12页 |
| 1.4 微表面形貌检测发展的状况 | 第12-15页 |
| 1.4.1 国外形貌检测仪的发展状况 | 第12-14页 |
| 1.4.2 国内形貌检测仪的发展状况 | 第14-15页 |
| 1.5 本文的主要工作与各章的主要内容 | 第15-17页 |
| 第二章 双波长干涉原理和算法研究 | 第17-35页 |
| 2.1 相移干涉理论 | 第17-21页 |
| 2.1.1 光学干涉基本理论 | 第17-18页 |
| 2.1.2 相移干涉法的基本原理 | 第18-20页 |
| 2.1.3 相位解包裹原理 | 第20-21页 |
| 2.2 常用的相位提取算法分类及原理介绍 | 第21-27页 |
| 2.2.1 定步长相位提取算法 | 第22-23页 |
| 2.2.2 等步长相位提取算法 | 第23-24页 |
| 2.2.3 未知相移量相位提取算法 | 第24-27页 |
| 2.3 双波长干涉原理及相位提取算法 | 第27-34页 |
| 2.3.1 双波长干涉原理 | 第29-30页 |
| 2.3.2 基于双波长干涉的相位提取算法 | 第30-34页 |
| 2.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 基于双波长干涉算法的物体重建 | 第35-51页 |
| 3.1 计算模拟作干涉图 | 第35-38页 |
| 3.2 在理想情况下重建物体表面形貌的过程 | 第38-42页 |
| 3.3 噪声在表面形貌重建中的影响 | 第42-50页 |
| 3.3.1 高斯噪声对表面形貌重建的影响 | 第42-46页 |
| 3.3.2 椒盐噪声对表面形貌重建的影响 | 第46-50页 |
| 3.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 第四章 基于双波长干涉微表面形貌测量的实验系统设计及研究 | 第51-60页 |
| 4.1 实验系统设计 | 第51-57页 |
| 4.1.1 光源部分 | 第52-53页 |
| 4.1.2 针孔滤波和扩束准直系统 | 第53-55页 |
| 4.1.3 迈克尔逊干涉 | 第55-56页 |
| 4.1.4 数据采集系统 | 第56-57页 |
| 4.2 微表面形貌测量的实验研究 | 第57-59页 |
| 4.2.1 双波长干涉系统的搭建 | 第57-58页 |
| 4.2.2 实验系统的调节方法 | 第58-59页 |
| 4.3 本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 基于双波长干涉的微表面形貌测量实验结果分析 | 第60-71页 |
| 5.1 干涉图的校正 | 第60-63页 |
| 5.2 平面反射镜的测量结果及分析 | 第63-67页 |
| 5.2.1 曲线拟合的基本原理 | 第63-64页 |
| 5.2.2 测量结果及分析 | 第64-67页 |
| 5.3 凹面反射镜的测量结果及分析 | 第67-70页 |
| 5.4 本章小结 | 第70-71页 |
| 第六章 总结与展望 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-75页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76页 |