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智能功率模块用铝基板微弧氧化工艺研究

摘要第5-6页
Abstract第6页
目录第7-10页
第一章 绪论第10-22页
    1.1 课题研究背景第10-12页
        1.1.1 引言第10-11页
        1.1.2 铝基板国内外应用现状第11-12页
    1.2 IPM 用铝基板传统的阳极氧化表面处理技术第12-15页
        1.2.1 阳极氧化表面处理技术简介第12-14页
        1.2.2 铝阳极氧化表面处理工艺及其特点第14-15页
        1.2.3 目前阳极氧化法制备铝基板所存在问题第15页
    1.3 本课题拟采用的 IPM 铝基板表面处理技术第15-20页
        1.3.1 微弧氧化表面处理技术简介第16-18页
        1.3.2 铝微弧氧化表面处理技术基本原理第18-19页
        1.3.3 铝微弧氧化表面处理工艺第19-20页
    1.4 本课题的创新点及主要研究内容第20-22页
第二章 IPM 用铝基板微弧氧化膜层制备实验材料及设备第22-30页
    2.1 课题研究技术路线第22-23页
    2.2 实验材料第23页
    2.3 实验用设备和仪器第23-24页
    2.4 铝基板微弧氧化膜层的制备过程第24-26页
        2.4.1 实验用微弧氧化电源装置介绍第24-25页
        2.4.2 铝基板微弧氧化陶瓷膜的制备流程第25-26页
    2.5 铝基板微弧氧化陶瓷膜的性能测试及组织表征第26-30页
        2.5.1 微弧氧化膜层的表面微观形貌和膜层厚度第26-27页
        2.5.2 微弧氧化膜层的相组成第27页
        2.5.3 微弧氧化膜层的绝缘性能测试第27页
        2.5.4 微弧氧化膜层与封装材料之间的粘合性能测试第27-28页
        2.5.5 膜层耐腐蚀性能测试第28页
        2.5.6 膜层表面粗糙度测试第28-29页
        2.5.7 膜层表面孔隙率的测量第29-30页
第三章 铝基板微弧氧化膜层的微观形貌和性能分析第30-36页
    3.1 前言第30-31页
    3.2 初步实验成果第31-35页
        3.2.1 微弧氧化膜层的微观形貌分析第32页
        3.2.2 微弧氧化膜层的粘合性能第32-33页
        3.2.3 微弧氧化膜层绝缘性能第33-34页
        3.2.4 调整工艺参数第34-35页
    3.3 本章小结第35-36页
第四章 IPM 用铝基板微弧氧化处理工艺优化第36-54页
    4.1 前言第36页
    4.2 铝基板微弧氧化电解液浓度优化第36-44页
        4.2.1 Na_2SiO_3浓度对铝基板微弧氧化膜层的影响第36-39页
            4.2.1.1 Na_2SiO_3浓度对膜层粘合性能的影响第37-38页
            4.2.1.2 Na_2SiO_3浓度对膜层绝缘性能的影响第38-39页
        4.2.2 NaOH 浓度对铝基板微弧氧化膜层的影响第39-42页
            4.2.2.1 NaOH 浓度对膜层粘合性能的影响第40-41页
            4.2.2.2 NaOH 浓度对膜层绝缘性能的影响第41-42页
        4.2.3 添加剂 A 浓度对铝基板微弧氧化膜层的影响第42-44页
            4.2.3.1 添加剂 A 对膜层粘合性能的影响第42-43页
            4.2.3.2 添加剂 A 对膜层绝缘性能的影响第43-44页
    4.3 铝基板微弧氧化电参数优化第44-53页
        4.3.1 电流密度对铝基板微弧氧化膜层的影响第45-47页
            4.3.1.1 电流密度对膜层粘合性能的影响第45-46页
            4.3.1.2 电流密度对膜层绝缘性能的影响第46-47页
        4.3.2 脉冲占空比对铝基板微弧氧化膜层的影响第47-51页
            4.3.2.1 脉冲占空比对膜层粘合性能的影响第48-49页
            4.3.2.2 脉冲占空比对膜层绝缘性能的影响第49-51页
        4.3.3 脉冲频率对铝基板微弧氧化膜层的影响第51-53页
            4.3.3.1 脉冲频率对膜层粘合性能的影响第51-52页
            4.3.3.2 脉冲频率对膜层绝缘性能的影响第52-53页
    4.4 本章小结第53-54页
第五章 IPM 用铝基板微弧氧化膜层微观形貌及性能第54-59页
    5.1 不同氧化时间下微弧氧化膜层微观形貌第54-55页
    5.2 不同氧化时间下微弧氧化膜层的粘合、绝缘及导热性能第55页
    5.3 微弧氧化膜层相组成分析第55-56页
    5.4 IPM 用铝基板微弧氧化膜层耐蚀性能第56-57页
    5.5 本章小结第57-59页
全文总结第59-60页
参考文献第60-64页
攻读硕士学位期间取得的研究成果第64-65页
致谢第65-66页
附件第66页

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