| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 基于富集器、气相色谱及声表面波传感器的气体分析检测系统 | 第11-16页 |
| 1.2.1 以声表面波传感器阵列与模式识别算法为核心的检测系统 | 第12-14页 |
| 1.2.2 以气相色谱柱与气体检测器为核心的检测系统 | 第14-16页 |
| 1.3 关键集成技术分析 | 第16-18页 |
| 1.3.1 富集器 | 第16-17页 |
| 1.3.2 气相色谱 | 第17页 |
| 1.3.3 声表面波传感器 | 第17-18页 |
| 1.3.4 系统集成 | 第18页 |
| 1.4 论文内容介绍 | 第18-20页 |
| 第二章 富集器的集成控制及测试 | 第20-41页 |
| 2.1 富集器概述 | 第20-29页 |
| 2.1.1 以降低热容为目标的MEMS富集器的发展 | 第20-25页 |
| 2.1.2 以提高吸附能力为目标的低温制冷富集器的发展 | 第25-28页 |
| 2.1.3 基于质量敏感型检测器的富集器测试方案 | 第28-29页 |
| 2.2 富集器的快速加热技术 | 第29-37页 |
| 2.2.1 脉冲产生电路及快速加热效果 | 第30-33页 |
| 2.2.2 富集器制备及性能测试 | 第33-37页 |
| 2.3 富集器的低温富集技术 | 第37-40页 |
| 2.3.1 低温富集技术的实现 | 第37-39页 |
| 2.3.2 富集器性能测试对比 | 第39-40页 |
| 2.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 第三章 气相色谱气路的集成控制 | 第41-50页 |
| 3.1 气相色谱概述 | 第41-44页 |
| 3.1.1 气相色谱法 | 第41-42页 |
| 3.1.2 气相色谱仪 | 第42-44页 |
| 3.2 气相色谱技术的发展 | 第44-46页 |
| 3.2.1 基于毛细管色谱柱的快速气相色谱技术 | 第44-45页 |
| 3.2.2 MEMS微型气相色谱柱 | 第45-46页 |
| 3.3 基于富集器的采样、进样功能实现与测试 | 第46-49页 |
| 3.3.1 采样与进样 | 第46-48页 |
| 3.3.2 进样气流的测试 | 第48-49页 |
| 3.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 声表面波气体传感器的集成及数据处理 | 第50-62页 |
| 4.1 声表面波气体传感器概述 | 第50-54页 |
| 4.1.1 声表面波器件 | 第50-52页 |
| 4.1.2 声表面波气体传感器 | 第52-54页 |
| 4.2 声表面波气体传感器的集成 | 第54-57页 |
| 4.2.1 基于双端谐振型器件的传感器电路 | 第54-56页 |
| 4.2.2 声表面波气体传感器的气室设计 | 第56-57页 |
| 4.3 声表面波气体传感器响应数据的处理方法 | 第57-61页 |
| 4.3.1 峰形识别与峰位计算方法 | 第57-59页 |
| 4.3.2 算法的实现与优化 | 第59-61页 |
| 4.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 总结与展望 | 第62-64页 |
| 5.1 全文总结 | 第62页 |
| 5.2 工作展望 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-70页 |
| 附录 1 | 第70-71页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第71-72页 |
