| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 研究目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 表面形貌测量技术概述 | 第10-18页 |
| 1.2.1 接触式测量技术 | 第10-11页 |
| 1.2.2 非光学无损测量技术 | 第11-13页 |
| 1.2.3 光学无损测量技术 | 第13-18页 |
| 1.3 论文主要研究内容与结构安排 | 第18-19页 |
| 2 基于线激光三角法的反射表面形貌测量 | 第19-35页 |
| 2.1 线激光三角法表面形貌测量的工作原理 | 第19-23页 |
| 2.1.1 传统激光三角法的基本原理 | 第19-21页 |
| 2.1.2 反射表面形貌测量的工作原理 | 第21-23页 |
| 2.2 激光条纹图像的采集及预处理 | 第23-25页 |
| 2.2.1 激光条纹图像的采集 | 第23-24页 |
| 2.2.2 激光条纹图像的预处理 | 第24-25页 |
| 2.3 高噪声背景下激光条纹亚像素中心的提取 | 第25-31页 |
| 2.3.1 条纹像素级中心的提取 | 第26-27页 |
| 2.3.2 条纹亚像素中心的精确提取 | 第27-28页 |
| 2.3.3 条纹亚像素中心提取的结果对比分析 | 第28-31页 |
| 2.4 实验结果与分析 | 第31-33页 |
| 2.5 本章小结 | 第33-35页 |
| 3 基于横向剪切干涉的反射表面形貌测量 | 第35-53页 |
| 3.1 剪切干涉法表面形貌测量的工作原理 | 第35-41页 |
| 3.1.1 不包含柱面镜和透镜的横向剪切干涉形貌测量仪 | 第37-39页 |
| 3.1.2 仅包含透镜的横向剪切干涉形貌测量仪 | 第39-41页 |
| 3.2 基于傅里叶变换的剪切干涉条纹图像分析 | 第41-47页 |
| 3.2.1 傅里叶变换的基本原理 | 第41-43页 |
| 3.2.2 剪切干涉条纹图像分析 | 第43-47页 |
| 3.3 实验结果与分析 | 第47-52页 |
| 3.3.1 不包含柱面镜和透镜的剪切干涉形貌测量结果 | 第47-49页 |
| 3.3.2 仅包含透镜的剪切干涉形貌测量结果 | 第49-52页 |
| 3.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 4 基于同步偏振相移的反射表面形貌测量 | 第53-66页 |
| 4.1 相移法表面形貌测量的工作原理 | 第53-56页 |
| 4.1.1 相移干涉测量 | 第53-54页 |
| 4.1.2 相位解包裹 | 第54-56页 |
| 4.2 同步偏振移相技术 | 第56-58页 |
| 4.3 实验结果与分析 | 第58-65页 |
| 4.3.1 同步偏振相移反射表面形貌测量的结果分析 | 第58-63页 |
| 4.3.2 与基于傅里叶变换的横向剪切干涉形貌测量结果对比 | 第63-65页 |
| 4.4 本章小结 | 第65-66页 |
| 5 总结与展望 | 第66-68页 |
| 5.1 论文工作总结 | 第66-67页 |
| 5.2 今后研究工作展望 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-75页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及研究成果 | 第75页 |
