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基于波数扫描干涉的深度表面三维轮廓测量系统及算法研究

摘要第4-5页
ABSTRACT第5-6页
第一章 绪论第11-21页
    1.1 本课题的研究背景及意义第11页
    1.2 表面三维轮廓测量国内外研究现状第11-18页
        1.2.1 接触式表面三维轮廓测量第12页
        1.2.2 光学非接触式表面三维轮廓测量第12-16页
        1.2.3 深度表面三维轮廓测量第16-18页
        1.2.4 激光波数扫描深度表面三维轮廓测量存在的问题第18页
    1.3 本文主要内容和组织结构第18-21页
第二章 激光波数扫描干涉深度表面三维轮廓测量原理第21-28页
    2.1 引言第21页
    2.2 激光波数扫描第21-22页
    2.3 在线监测激光波数第22-24页
    2.4 随机采样傅里叶变换第24-25页
    2.5 深度表面三维轮廓测量数学模型第25-26页
    2.6 本章小结第26-28页
第三章 基于傅里叶变换的深度表面三维轮廓测量第28-31页
    3.1 引言第28页
    3.2 基于傅里叶变换的深度表面三维轮廓数据解调第28-30页
    3.3 本章小结第30-31页
第四章 基于特征分解子空间最小二乘的深度表面三维轮廓测量第31-41页
    4.1 引言第31页
    4.2 子空间分解数学模型第31-33页
    4.3 ESPRIT算法第33-36页
        4.3.1 ESPRIT算法原理第33-34页
        4.3.2 信号特征子空间和噪声子空间的划分第34-35页
        4.3.3 时域干涉信号到空域信号的转换第35-36页
    4.4 特征分解子空间最小二乘法深度表面三维轮廓数据解调第36-40页
        4.4.1 干涉频率估计第37-39页
        4.4.2 干涉相位估计第39-40页
    4.5 本章小结第40-41页
第五章 仿真及实验第41-62页
    5.1 引言第41页
    5.2 特征分解子空间最小二乘算法性能仿真第41-47页
        5.2.1 单光强序列仿真第41-43页
        5.2.2 深度三表面激光波数扫描干涉仿真第43-46页
        5.2.3 仿真结果分析第46-47页
    5.3 波数扫描干涉深度表面三维轮廓测量系统设计及轮廓测量第47-61页
        5.3.1 深度表面三维轮廓测量系统设计第47-50页
        5.3.2 基于傅里叶变换的深度表面三维轮廓测量第50-52页
        5.3.3 基于特征分解子空间最小二乘的深度表面三维轮廓测量第52-61页
    5.4 本章小结第61-62页
总结与展望第62-63页
参考文献第63-67页
攻读学位期间发表的论文第67-68页
攻读学位期间参加的课题第68-70页
致谢第70页

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