| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 研究意义 | 第10页 |
| 1.2 硬质碳膜力学性能 | 第10-12页 |
| 1.3 类金刚石碳膜韧性表征及韧化机理 | 第12-13页 |
| 1.4 金刚石膜力学性能的表征和改善机理 | 第13-16页 |
| 1.4.1 金刚石膜力学性能的表征方法 | 第13-14页 |
| 1.4.2 改善硬质合金表面CVD金刚石膜的研究现状 | 第14-16页 |
| 1.5 选题依据 | 第16页 |
| 1.6 研究目的、主要内容及撰写思路 | 第16-18页 |
| 第二章 实验部分 | 第18-27页 |
| 2.1 制备设备及工艺 | 第18-25页 |
| 2.1.1 类金刚石碳膜的制备设备及工艺 | 第18-19页 |
| 2.1.2 碳化硅过渡层的制备设备及工艺 | 第19-22页 |
| 2.1.3 金刚石碳膜的制备设备及工艺 | 第22-25页 |
| 2.2 薄膜表征 | 第25-27页 |
| 2.2.1 X射线衍射仪 | 第25页 |
| 2.2.2 拉曼光谱分析仪 | 第25页 |
| 2.2.3 微米压痕仪 | 第25-26页 |
| 2.2.4 划痕实验仪 | 第26页 |
| 2.2.5 冲击实验 | 第26-27页 |
| 第三章 类金刚石碳膜韧性表征及韧化机理 | 第27-44页 |
| 3.1 硬质碳膜的韧性表征方法 | 第28-36页 |
| 3.1.1 压球法表征薄膜冲击韧性 | 第28-31页 |
| 3.1.2 划痕法表征薄膜划痕韧性 | 第31-35页 |
| 3.1.3 薄膜韧性表征的方法 | 第35-36页 |
| 3.2 韧化机理探讨 | 第36-43页 |
| 3.2.1 能量方法的失效机制 | 第37-38页 |
| 3.2.2 应力方法的失效机制 | 第38页 |
| 3.2.3 韧化机理探讨 | 第38-43页 |
| 3.3 本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 微米压痕法评价金刚石膜力学性能 | 第44-56页 |
| 4.1 微米压痕法表征硬质硬度和弹性模量 | 第44-52页 |
| 4.1.1 微米压痕法表征硬质碳膜硬质硬度和弹性模量的测量原理 | 第44-49页 |
| 4.1.2 探索微米量级的压痕面积 | 第49-51页 |
| 4.1.3 机架柔度的标定和压痕面积的确定 | 第51-52页 |
| 4.2 微米压痕测量结合力 | 第52-54页 |
| 4.3 本章小结 | 第54-56页 |
| 第五章 碳化硅过渡层改善硬质合金刀具金刚石涂层力学性能的方法和机理 | 第56-67页 |
| 5.1 正交实验结果分析与讨论 | 第56-65页 |
| 5.1.1 金刚石膜的弹性模量和结合力的结果分析 | 第58-61页 |
| 5.1.2 间隔层提高金刚石膜基结合力的机理 | 第61-65页 |
| 5.2 分析影响金刚石涂层膜基结合力的因素 | 第65页 |
| 5.3 本章小结 | 第65-67页 |
| 第六章 结论 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 个人简历 | 第74-75页 |
| 在学期间研究成果 | 第75页 |
