| 中文摘要 | 第3-5页 |
| 英文摘要 | 第5-7页 |
| 1 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 微机电系统 | 第10-11页 |
| 1.2 微结构力学性能的尺寸效应 | 第11-12页 |
| 1.3 弹性理论的发展现状 | 第12-14页 |
| 1.4 裂纹的产生以及材料疲劳机理的猜想 | 第14-15页 |
| 1.5 研究含孔微器件的孔边力学特性的意义 | 第15-16页 |
| 1.6 本文的主要研究内容 | 第16-18页 |
| 2 广义弹性力学及其有限元数值求解方法 | 第18-32页 |
| 2.1 引言 | 第18-19页 |
| 2.2 广义弹性力学理论模型 | 第19-24页 |
| 2.2.1 广义弹性力学几何描述 | 第19-22页 |
| 2.2.2 广义弹性力学守恒方程 | 第22-23页 |
| 2.2.3 广义弹性力学本构关系 | 第23-24页 |
| 2.3 广义弹性体有限元计算 | 第24-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-32页 |
| 3 单孔平板拉伸尺寸效应 | 第32-52页 |
| 3.1 引言 | 第32-33页 |
| 3.2 宏观尺寸中心圆孔平板单轴拉伸 | 第33-40页 |
| 3.3 中心圆孔顶端节点应力集中因子与偶应力大小尺寸效应 | 第40-43页 |
| 3.4 中心圆孔平板中轴线应力集中因子与偶应力大小尺寸效应 | 第43-44页 |
| 3.5 中心圆孔平板孔边节点应力对称度尺寸效应 | 第44-48页 |
| 3.6 中心椭圆孔平板单轴拉伸尺度效应 | 第48-50页 |
| 3.7 本章小结 | 第50-52页 |
| 4 双孔平板拉伸尺寸效应 | 第52-66页 |
| 4.1 引言 | 第52页 |
| 4.2 宏观尺寸双圆孔平板单轴拉伸 | 第52-56页 |
| 4.3 双圆孔平板单轴拉伸尺寸效应 | 第56-63页 |
| 4.4 双椭圆孔平板单轴拉伸尺寸效应 | 第63-65页 |
| 4.5 本章小结 | 第65-66页 |
| 5 总结与展望 | 第66-70页 |
| 5.1 全文总结 | 第66-67页 |
| 5.2 下一步的工作展望 | 第67-70页 |
| 致谢 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-78页 |
| 附录 | 第78页 |
| A. 作者在攻读学位期间发表的论文目录： | 第78页 |
| B. 作者在攻读硕士学位期间参与的科研项目 | 第78页 |