数字全息显微测量的理论与实验研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 数字全息发展概要 | 第8-9页 |
| 1.2 数字全息的特点及应用 | 第9-11页 |
| 1.3 数字全息显微术的研究现状 | 第11-13页 |
| 1.4 本论文的主要工作 | 第13-15页 |
| 2 数字全息技术理论 | 第15-29页 |
| 2.1 光学全息的基本理论 | 第15-18页 |
| 2.1.1 记录过程 | 第15-16页 |
| 2.1.2 波前再现 | 第16-18页 |
| 2.2 数字全息 | 第18-22页 |
| 2.2.1 基本原理 | 第18-20页 |
| 2.2.2 数字全息的重现算法比较 | 第20-22页 |
| 2.3 数字全息显微术原理 | 第22-28页 |
| 2.3.1 无预放大数字全息显微术 | 第23-25页 |
| 2.3.2 有预放大数字全息显微术 | 第25-28页 |
| 2.5 小结 | 第28-29页 |
| 3 基于数字全息的无预放大测量系统构建及实验 | 第29-43页 |
| 3.1 实验装置分析 | 第29-30页 |
| 3.2 实验器材的选择 | 第30-31页 |
| 3.3 实验条件的分析 | 第31-34页 |
| 3.3.1 最小记录距离 | 第31-32页 |
| 3.3.2 参考光与物光间的夹角 | 第32-33页 |
| 3.3.3 软件平台 | 第33-34页 |
| 3.4 实验及调试 | 第34-35页 |
| 3.5 实验结果与分析 | 第35-42页 |
| 3.5.1 MEMS器件的三维轮廓测量 | 第35-38页 |
| 3.5.2 组合非球面器件测量 | 第38-40页 |
| 3.5.3 微透镜阵列样品微观形貌的测量 | 第40-42页 |
| 3.6 小结 | 第42-43页 |
| 4 有关实验参数问题的讨论 | 第43-50页 |
| 4.1 记录距离与再现距离的取值 | 第43-45页 |
| 4.2 物光、参考光的夹角选择 | 第45-46页 |
| 4.3 再现算法近似 | 第46-47页 |
| 4.4 再现光的波长对测量的影响 | 第47-49页 |
| 4.5 记录过程中的注意事项 | 第49-50页 |
| 5 结论 | 第50-52页 |
| 5.1 本文的总结 | 第50页 |
| 5.2 未来工作的建议 | 第50-52页 |
| 参考文献 | 第52-54页 |
| 致谢 | 第54-56页 |
