泡生法蓝宝石单晶生长及缺陷研究
| 目录 | 第4-7页 |
| CONTENTS | 第7-10页 |
| 摘要 | 第10-13页 |
| ABSTRACT | 第13-16页 |
| 第一章 绪论 | 第17-48页 |
| 1.1 引言 | 第17-18页 |
| 1.2 蓝宝石晶体的基本性质 | 第18-21页 |
| 1.2.1 蓝宝石晶体的晶格结构 | 第18-20页 |
| 1.2.2 蓝宝石晶体的其他参数 | 第20-21页 |
| 1.3 蓝宝石晶体的应用领域 | 第21-26页 |
| 1.3.1 结构材料 | 第22-23页 |
| 1.3.2 红外窗口材料 | 第23-24页 |
| 1.3.3 衬底材料 | 第24-26页 |
| 1.3.3.1 GaN基外延衬底 | 第24-25页 |
| 1.3.3.2 SOS衬底材料 | 第25-26页 |
| 1.3.4 其它应用 | 第26页 |
| 1.4 蓝宝石晶体的生长方法及研究 | 第26-41页 |
| 1.4.1 焰熔法 | 第28-29页 |
| 1.4.2 提拉法 | 第29-30页 |
| 1.4.3 导模法 | 第30-32页 |
| 1.4.4 坩埚下降法 | 第32-33页 |
| 1.4.5 热交换法 | 第33-34页 |
| 1.4.6 泡生法 | 第34-37页 |
| 1.4.7 温度梯度法 | 第37-39页 |
| 1.4.8 冷心放肩微量提拉法 | 第39-41页 |
| 1.5 本论文的主要工作 | 第41-42页 |
| 参考文献 | 第42-48页 |
| 第二章 温场的变化规律和晶体生长模型 | 第48-78页 |
| 2.1 引言 | 第48页 |
| 2.2 泡生法晶体生长简介 | 第48-54页 |
| 2.2.1 泡生法设备简介 | 第48-51页 |
| 2.2.2 泡生法长晶过程 | 第51-52页 |
| 2.2.3 泡生法生长晶体的相关测试 | 第52-54页 |
| 2.3 泡生法质量和热量传输 | 第54-58页 |
| 2.3.1 质量传输 | 第54-57页 |
| 2.3.2 热量输运 | 第57-58页 |
| 2.4 界面的热平衡 | 第58-59页 |
| 2.5 温场的变化 | 第59-68页 |
| 2.5.1 同一生长炉次内温场 | 第59-62页 |
| 2.5.2 初始生长状态的渐变 | 第62-68页 |
| 2.6 晶体重量的变化 | 第68-76页 |
| 2.6.1 结晶界面的推移过程 | 第69-73页 |
| 2.6.2 晶体重量变化规律 | 第73-76页 |
| 本章小结 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-78页 |
| 第三章 气泡缺陷的研究 | 第78-96页 |
| 3.1 气泡的成分 | 第79-81页 |
| 3.2 气泡的形成机理 | 第81-83页 |
| 3.3 气泡在晶体中的分布 | 第83-92页 |
| 3.3.1 晶体上部气泡 | 第84-87页 |
| 3.3.2 晶体中部气泡 | 第87-89页 |
| 3.3.3 晶体底部气泡 | 第89-90页 |
| 3.3.4 其它类型气泡 | 第90-92页 |
| 3.4 气泡的消除措施 | 第92-95页 |
| 本章小结 | 第95页 |
| 参考文献 | 第95-96页 |
| 第四章 小角晶界的研究 | 第96-123页 |
| 4.1 泡生法蓝宝石中的位错 | 第96-102页 |
| 4.1.1 泡生法蓝宝石中位错的成因 | 第96-97页 |
| 4.1.2 泡生法蓝宝石中位错的观察 | 第97-102页 |
| 4.2 泡生法蓝宝石中的小角晶界成因 | 第102-105页 |
| 4.2.1 位错多边形化 | 第102-103页 |
| 4.2.2 结晶界面错排 | 第103-105页 |
| 4.3 泡生法蓝宝石中小角晶界的表征 | 第105-121页 |
| 4.3.1 光学观察 | 第105-106页 |
| 4.3.2 小角晶界的腐蚀观察 | 第106-107页 |
| 4.3.3 小角晶界的同步辐射白光形貌术观察 | 第107-121页 |
| 本章小结 | 第121页 |
| 参考文献 | 第121-123页 |
| 第五章 泡生法蓝宝石中的其他缺陷 | 第123-132页 |
| 5.1 泡生法中的“粘锅”缺陷 | 第123-125页 |
| 5.2 泡生法中的包裹物缺陷 | 第125-126页 |
| 5.3 泡生法蓝宝石的开裂 | 第126-131页 |
| 本章小结 | 第131页 |
| 参考文献 | 第131-132页 |
| 第六章 主要结论、创新点及有待进一步开展的工作 | 第132-135页 |
| 6.1 论文结论 | 第132-133页 |
| 6.2 本论文工作的主要创新点 | 第133-134页 |
| 6.3 有待进一步开展的工作 | 第134-135页 |
| 致谢 | 第135-136页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第136-137页 |
| 附录 | 第137-151页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第151页 |
