接触非接触两用表面形貌测量仪器标定方法研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.2 课题研究背景及意义 | 第9-12页 |
| 1.3 标定的国内外研究现状 | 第12-15页 |
| 1.4 标定量具介绍 | 第15-19页 |
| 1.4.1 标定量具基本概念 | 第15-16页 |
| 1.4.2 标定量具研究现状 | 第16-19页 |
| 1.5 论文主要研究内容 | 第19-20页 |
| 第2章 测量仪器噪声和残余平面度标定 | 第20-31页 |
| 2.1 实验仪器介绍及其基本原理 | 第20-23页 |
| 2.1.1 实验仪器介绍 | 第20页 |
| 2.1.2 实验仪器基本原理 | 第20-23页 |
| 2.2 测量仪器噪声标定分析 | 第23-27页 |
| 2.2.1 测量仪器噪声来源 | 第23页 |
| 2.2.2 相减法 | 第23-25页 |
| 2.2.3 平均法 | 第25-26页 |
| 2.2.4 实验结果分析 | 第26-27页 |
| 2.3 测量残余平面度标定分析 | 第27-30页 |
| 2.3.1 残余平面度的来源和处理方法 | 第27-28页 |
| 2.3.2 残余平面度标定实验设计 | 第28-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 测量仪器的放大率、线性度和垂直度标定 | 第31-54页 |
| 3.1 放大率、线性度和垂直度标定定义 | 第31-32页 |
| 3.2 测量仪器的Z轴尺度标定分析 | 第32-46页 |
| 3.2.1 Z轴尺度标定基本概念 | 第32-35页 |
| 3.2.2 Z轴尺度标定实验设计 | 第35-37页 |
| 3.2.3 实验数据处理 | 第37-44页 |
| 3.2.4 扩展Z轴尺度标定方法 | 第44-46页 |
| 3.3 测量仪器的XY轴尺度标定 | 第46-53页 |
| 3.3.1 XY轴尺度标定基本概念 | 第46-47页 |
| 3.3.2 XY轴尺度标定实验设计 | 第47-48页 |
| 3.3.3 实验数据处理 | 第48-53页 |
| 3.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 第4章 测量仪器分辨率标定 | 第54-62页 |
| 4.1 测量仪器分辨率标定基本概念 | 第54-55页 |
| 4.2 测量仪器分辨率标定分析 | 第55-61页 |
| 4.2.1 横向周期极限分析 | 第56-57页 |
| 4.2.2 分辨率标定方法介绍 | 第57-58页 |
| 4.2.3 分辨率标定具体步骤 | 第58-61页 |
| 4.3 本章小结 | 第61-62页 |
| 第5章 总结与展望 | 第62-64页 |
| 5.1 总结 | 第62-63页 |
| 5.2 展望 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-74页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第74-75页 |
| 附录2 攻读硕士学位期间参加的科研项目 | 第75页 |
