| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-29页 |
| 1.1 定向耦合器 | 第9-15页 |
| 1.1.1 定向耦合器的分类 | 第9-12页 |
| 1.1.2 耦合度可重构定向耦合器的研究进展及现状 | 第12-15页 |
| 1.2 MEMS梁的粘附问题 | 第15-17页 |
| 1.2.1 粘附效应的力学理论发展 | 第16-17页 |
| 1.2.2 MEMS梁的粘附问题的理论模型 | 第17页 |
| 1.3 MEMS梁的力学模型 | 第17-21页 |
| 1.3.1 静态力学模型 | 第18-19页 |
| 1.3.2 振动模型 | 第19-21页 |
| 1.4 MEMS梁的残余应力的在线测量 | 第21-26页 |
| 1.4.1 屈曲测量法及其研究现状 | 第22-23页 |
| 1.4.2 微旋测量法及其研究现状 | 第23-25页 |
| 1.4.3 长短梁测量法及其研究现状 | 第25-26页 |
| 1.5 本论文的主要研究内容 | 第26-27页 |
| 1.5.1 目前存在的问题 | 第26-27页 |
| 1.5.2 主要研究工作 | 第27页 |
| 1.6 本章小结 | 第27-29页 |
| 第二章 可重构MEMS微波功率耦合器的模拟和设计 | 第29-41页 |
| 2.1 可重构MEMS微波功率耦合器的结构和工作原理 | 第29-30页 |
| 2.2 可重构MEMS微波功率耦合器的理论设计 | 第30-37页 |
| 2.2.1 共面波导的特征阻抗分析 | 第30-31页 |
| 2.2.2 共面波导端口的设计 | 第31-32页 |
| 2.2.3 共面波导边缘耦合线的奇偶模阻抗分析 | 第32-34页 |
| 2.2.4 耦合线的设计 | 第34-36页 |
| 2.2.5 MEMS双端梁和空气桥的设计 | 第36-37页 |
| 2.3 可重构MEMS微波功率耦合器的模拟 | 第37-40页 |
| 2.3.1 up态S参数的优化设计 | 第38-39页 |
| 2.3.2 悬臂梁长度的优化设计 | 第39-40页 |
| 2.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 第三章 可重构MEMS微波功率耦合器的粘附问题的检测方法研究 | 第41-53页 |
| 3.1 谐振法的实验原理 | 第42-44页 |
| 3.2 理想固支锚区的MEMS双端梁的振动模型 | 第44-47页 |
| 3.3 开孔MEMS梁的弹性常数 | 第47-48页 |
| 3.4 阶跃锚区双端梁的振动模型 | 第48-51页 |
| 3.4.1 考虑抗扭刚度的简支边界条件的振动模型的建立 | 第48-50页 |
| 3.4.2 杨氏模量和支撑梁的厚度对谐振频率的影响 | 第50-51页 |
| 3.5 本章小结 | 第51-53页 |
| 第四章 可重构MEMS功率耦合器的残余应力的研究 | 第53-59页 |
| 4.1 四向微旋转梁残余应力测量结构的工作原理 | 第53-54页 |
| 4.2 四向微旋转梁残余应力测量结构模拟和设计 | 第54-55页 |
| 4.3 四向微旋转梁残余应力测量结构的制备与残余应力测试 | 第55-58页 |
| 4.3.1 四向微旋转梁残余应力测量结构的制备 | 第55-57页 |
| 4.3.2 残余应力的测试 | 第57-58页 |
| 4.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 可重构MEMS微波功率耦合器的测试和可靠性研究 | 第59-69页 |
| 5.1 可重构MEMS微波功率耦合器的制备与测试 | 第59-62页 |
| 5.1.1 可重构MEMS微波功率耦合器的版图与制备工艺 | 第59-60页 |
| 5.1.2 可重构MEMS微波功率耦合器的测试 | 第60-62页 |
| 5.2 谐振法检测粘附的有效性分析 | 第62-66页 |
| 5.2.1 开孔MEMS双端固支梁的振动的理论分析 | 第62-63页 |
| 5.2.2 粘附的检测和分析 | 第63-66页 |
| 5.2.3 讨论与分析 | 第66页 |
| 5.3 不同干燥温度下粘附问题的研究 | 第66-67页 |
| 5.3.1 实验测试 | 第66-67页 |
| 5.3.2 结果分析 | 第67页 |
| 5.4 本章小结 | 第67-69页 |
| 第六章 总结与展望 | 第69-71页 |
| 6.1 本论文研究工作的总结 | 第69-70页 |
| 6.2 进一步研究工作的展望 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-79页 |
| 作者简介 | 第79页 |
