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化学气相沉积法制备β-Ga2O3纳米结构及其缺陷发光性质研究

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
第一章 绪论第9-19页
    1.1 低维纳米材料简介第9页
    1.2 低维氧化物纳米材料第9-10页
    1.3 低维氧化镓纳米材料概述第10-17页
        1.3.1 氧化镓的结构及基本性质第10-11页
        1.3.2 氧化镓纳米结构的制备方法第11-13页
        1.3.3 氧化镓纳米结构的生长机制第13-14页
        1.3.4 氧化镓纳米结构的缺陷发光性质第14-16页
        1.3.5 氧化镓纳米结构的应用第16-17页
    1.4 本文的选题依据及内容第17-19页
第二章 实验设备及样品的表征方法第19-25页
    2.1 实验药品及仪器第19-20页
    2.2 样品的表征方法第20-25页
        2.2.1 扫描电子显微镜(SEM)第20-21页
        2.2.2 透射电子显微镜(TEM)第21页
        2.2.3 X射线衍射(XRD)第21-22页
        2.2.4 拉曼散射光谱(Raman)第22页
        2.2.5 X射线光电子能谱(XPS)第22-23页
        2.2.6 阴极射线发光光谱(CL)第23-25页
第三章 不同形貌 β-Ga_2O_3纳米结构的制备与表征第25-37页
    3.1 引言第25页
    3.2 化学气相沉积法制备 β-Ga_2O_3纳米结构第25-26页
    3.3 实验结果讨论第26-34页
        3.3.1 不同生长压强以及催化剂尺寸对样品形貌的影响第27-30页
        3.3.2 β-Ga_2O_3纳米线与纳米带的SEM表征第30页
        3.3.3 β-Ga_2O_3纳米线与纳米带的TEM表征第30-31页
        3.3.4 β-Ga_2O_3纳米线与纳米带的XRD分析第31页
        3.3.5 β-Ga_2O_3纳米线与纳米带的Raman分析第31-32页
        3.3.6 β-Ga_2O_3纳米线与纳米带的XPS分析第32-33页
        3.3.7 β-Ga_2O_3纳米线与纳米带的生长机理分析第33-34页
    3.4 基于 β-Ga_2O_3纳米结构的紫外探测器第34-35页
        3.4.1 器件的制备与测试第34-35页
        3.4.2 器件的性能分析第35页
    3.5 本章小结第35-37页
第四章 不同形貌 β-Ga_2O_3纳米结构的缺陷发光性质研究第37-49页
    4.1 引言第37页
    4.2 β-Ga_2O_3纳米线与纳米带的阴极射线发光现象第37-41页
    4.3 不同激发电压对 β-Ga_2O_3纳米线与纳米带发光峰的影响第41-44页
        4.3.1 不同激发电压对 β-Ga_2O_3纳米线发光峰的影响第42-43页
        4.3.2 不同激发电压对 β-Ga_2O_3纳米带发光峰的影响第43-44页
    4.4 空气退火处理对 β-Ga_2O_3纳米线与纳米带发光峰的影响第44-46页
        4.4.1 样品的空气退火处理第44页
        4.4.2 空气退火处理对 β-Ga_2O_3纳米线发光峰的影响第44-45页
        4.4.3 空气退火处理对 β-Ga_2O_3纳米带发光峰的影响第45-46页
    4.5 等离子体处理对 β-Ga_2O_3纳米线与纳米带发光峰的影响第46-48页
        4.5.1 样品的等离子体处理第46-47页
        4.5.2 氩等离子体对 β-Ga_2O_3纳米线与纳米带发光峰的影响第47页
        4.5.3 氧等离子体对 β-Ga_2O_3纳米线与纳米带发光峰的影响第47-48页
    4.6 本章小结第48-49页
第五章 结论与展望第49-51页
    5.1 结论第49页
    5.2 展望第49-51页
参考文献第51-58页
致谢第58-59页
攻读学位期间发表的学术论文与会议情况第59页

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