| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 研究背景及研究意义 | 第10-11页 |
| 1.2 金刚石膜研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2.1 金刚石的结构及性能 | 第11页 |
| 1.2.2 金刚石膜的应用 | 第11-12页 |
| 1.2.3 金刚石膜应用中存在的问题 | 第12-13页 |
| 1.3 类金刚石膜研究现状 | 第13-15页 |
| 1.3.1 类金刚石结构与性能 | 第13-14页 |
| 1.3.2 类金刚石膜的应用 | 第14-15页 |
| 1.3.3 类金刚石膜应用中存在问题 | 第15页 |
| 1.4 碳基硬质薄膜过渡层的选择 | 第15-16页 |
| 1.4.1 金刚石膜过渡层的选择 | 第15-16页 |
| 1.4.2 类金刚石膜过渡层的选择 | 第16页 |
| 1.5 选题依据 | 第16-17页 |
| 1.6 研究目的及主要内容 | 第17-19页 |
| 第二章 实验方案 | 第19-26页 |
| 2.0 实验设备 | 第19-20页 |
| 2.1 薄膜制备工艺 | 第20-22页 |
| 2.1.1 不同厚度Ti间隔层金刚石复合薄膜的制备 | 第20-21页 |
| 2.1.2 不同调制周期Cr/DLC多层膜的制备 | 第21页 |
| 2.1.3 SiC/DLC复合薄膜的制备 | 第21-22页 |
| 2.2 薄膜表征方法 | 第22-26页 |
| 2.2.1 微观形貌表征 | 第22-23页 |
| 2.2.2 结构及成分表征 | 第23-24页 |
| 2.2.3 力学性能表征 | 第24-25页 |
| 2.2.4 摩擦学性能表征 | 第25-26页 |
| 第三章 Ti的碳化对金刚石膜形核和生长的影响 | 第26-37页 |
| 3.1 薄膜微观形貌 | 第26-29页 |
| 3.2 薄膜结构和成分 | 第29-32页 |
| 3.3 摩擦学性能 | 第32-33页 |
| 3.4 Ti层碳化对金刚石膜形核和晶粒生长的影响机理 | 第33-35页 |
| 3.5 本章小结 | 第35-37页 |
| 第四章 界面碳化对Cr/DLC多层膜力学性能的影响 | 第37-47页 |
| 4.1 薄膜的微观形貌 | 第37-39页 |
| 4.2 薄膜的结构和成分分析 | 第39-40页 |
| 4.3 薄膜的力学性能 | 第40-43页 |
| 4.4 界面碳化对Cr/DLC多层膜力学性能的作用机理 | 第43-46页 |
| 4.5 本章小结 | 第46-47页 |
| 第五章SiC间隔层对DLC复合薄膜力学性能的影响 | 第47-53页 |
| 5.1 薄膜微观结构分析 | 第47-49页 |
| 5.2 薄膜力学性能 | 第49-52页 |
| 5.3 本章小结 | 第52-53页 |
| 第六章 结论与展望 | 第53-55页 |
| 6.1 结论 | 第53-54页 |
| 6.2 展望 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-62页 |
| 个人简历 | 第62-63页 |
| 在学期间研究成果 | 第63页 |
