| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-28页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第12-14页 |
| 1.2 极紫外光刻光源的几种产生方式 | 第14-16页 |
| 1.2.1 同步辐射光源 | 第15页 |
| 1.2.2 气体放电等离子体源 | 第15页 |
| 1.2.3 激光等离子体源 | 第15-16页 |
| 1.3 激光等离子体极紫外光源的研究概况 | 第16-20页 |
| 1.3.1 13.5 nm工作波长EUV光源转化效率的研究 | 第17-19页 |
| 1.3.2 13.5 nm工作波长EUV光源碎屑有效减缓的研究 | 第19-20页 |
| 1.4 极紫外光源的国内研究进展 | 第20-21页 |
| 1.5 6.7nm极紫外光刻光源研究进展 | 第21-24页 |
| 1.6 论文研究目的和意义 | 第24-25页 |
| 1.7 论文工作的安排 | 第25-28页 |
| 第二章 激光等离子体的物理特性 | 第28-42页 |
| 2.1 等离子体的产生方式 | 第28页 |
| 2.2 激光等离子体的膨胀过程 | 第28-33页 |
| 2.2.1 激光等离子体等温膨胀过程的特性方程 | 第30-32页 |
| 2.2.2 激光等离子体绝热膨胀过程的特性方程 | 第32-33页 |
| 2.3 激光等离子体电子密度和电子温度光谱法诊断 | 第33-36页 |
| 2.4 激光等离子体光谱辐射机制 | 第36页 |
| 2.5 等离子体中碎屑产生的物理机制 | 第36-38页 |
| 2.6 双脉冲激光打靶机制 | 第38-39页 |
| 2.7 本章小结 | 第39-42页 |
| 第三章 极紫外平场光栅光谱仪的设计、调试和标定 | 第42-54页 |
| 3.1 引言 | 第42页 |
| 3.2 极紫外平场光栅光谱仪设计 | 第42-44页 |
| 3.2.1 使用平场光谱仪的必要性 | 第42页 |
| 3.2.2 平场光谱仪的设计 | 第42-44页 |
| 3.3 平场光谱仪的准直、安装调试和检验 | 第44-46页 |
| 3.3.1 飞秒激光高次谐波产生的实验装置 | 第44-45页 |
| 3.3.2 平场光谱仪光路的准直 | 第45-46页 |
| 3.3.3 平场光谱仪的安装调试和检验 | 第46页 |
| 3.4 平场光谱仪的标定 | 第46-52页 |
| 3.4.1 飞秒激光高次谐波法标定 | 第46-49页 |
| 3.4.2 元素吸收边法标定 | 第49-51页 |
| 3.4.3 硅离子线谱法标定 | 第51-52页 |
| 3.5 本章小结 | 第52-54页 |
| 第四章 Gd靶激光等离子体的极紫外辐射光谱特性 | 第54-70页 |
| 4.1 引言 | 第54页 |
| 4.2 Gd金属靶激光等离子体光源光谱辐射影响 | 第54-60页 |
| 4.2.1 Gd靶激光等离子体的极紫外光谱特性 | 第54-55页 |
| 4.2.2 实验装置 | 第55-56页 |
| 4.2.3 Gd金属靶实验结果与分析 | 第56-60页 |
| 4.3 预等离子体条件下Gd金属靶等离子体的极紫外光谱特性 | 第60-62页 |
| 4.3.1 实验装置 | 第60-61页 |
| 4.3.2 实验结果与分析 | 第61-62页 |
| 4.4 收集方向对极紫外辐射光谱特性的影响 | 第62-63页 |
| 4.5 Gd_2O_3纳米粒子掺杂玻璃靶等离子体的极紫外光谱特性 | 第63-66页 |
| 4.6 Gd靶激光等离子体离带热辐射研究 | 第66-68页 |
| 4.7 小结 | 第68-70页 |
| 第五章 Gd靶光源等离子体演化的研究 | 第70-78页 |
| 5.1 引言 | 第70-71页 |
| 5.2 实验装置及方法 | 第71页 |
| 5.3 Gd_2O_3纳米粒子掺杂玻璃靶激光等离子体时间演化特性研究 | 第71-74页 |
| 5.4 Gd_2O_3纳米粒子掺杂玻璃靶激光等离子体空间演化特性研究 | 第74-75页 |
| 5.5 本章小结 | 第75-78页 |
| 第六章 Gd靶激光等离子体光源碎屑的减缓研究 | 第78-94页 |
| 6.1 引言 | 第78页 |
| 6.2 激光等离子体光源碎屑动力学特性 | 第78-82页 |
| 6.2.1 飞行时间法探测光源离子碎屑 | 第78-79页 |
| 6.2.2 飞行时间法测量离子速度的实验装置 | 第79-80页 |
| 6.2.3 6.7 nm光源离子碎屑动力学特性 | 第80-82页 |
| 6.3 缓冲气体对激光等离子体极紫外光源碎屑的减缓效果研究 | 第82-84页 |
| 6.3.1 缓冲气体中 6.7 nm辐射光传输特性 | 第82-83页 |
| 6.3.2 不同缓冲气体压强下Gd离子投射距离模拟 | 第83页 |
| 6.3.3 氦、氩等缓冲气体阻挡 6.7 nm光源碎屑的效果研究 | 第83-84页 |
| 6.4 外加磁场对光源碎屑的减缓研究 | 第84-87页 |
| 6.5 双脉冲激光打靶对光源碎屑的减缓研究 | 第87-91页 |
| 6.5.1 实验装置 | 第88页 |
| 6.5.2 实验结果与讨论 | 第88-91页 |
| 6.6 缓冲气体和双脉冲联合作用对光源碎屑的减缓研究 | 第91-92页 |
| 6.7 减缓碎屑方法对比总结 | 第92-93页 |
| 6.8 小结 | 第93-94页 |
| 第七章 总结与展望 | 第94-98页 |
| 致谢 | 第98-100页 |
| 参考文献 | 第100-108页 |
| 攻读博士期间发表论文及参与会议 | 第108-109页 |
