| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-24页 |
| 1.1 课题来源及研究的背景和意义 | 第9-12页 |
| 1.1.1 课题的来源 | 第9页 |
| 1.1.2 课题研究的背景和意义 | 第9-12页 |
| 1.2 国内外研究现状及分析 | 第12-23页 |
| 1.2.1 高精度微细结构加工技术 | 第12-15页 |
| 1.2.2 超精密微细加工机床 | 第15-21页 |
| 1.2.3 国内外文献综述简析 | 第21-23页 |
| 1.3 本课题主要研究内容 | 第23-24页 |
| 第2章 超精密加工运动系统设计与静压导轨计算 | 第24-46页 |
| 2.1 引言 | 第24页 |
| 2.2 超精密铣研复合加工系统总体方案设计 | 第24-27页 |
| 2.3 气体静压导轨的压力分布计算 | 第27-30页 |
| 2.3.1 平行平板间的压力分布计算 | 第28-29页 |
| 2.3.2 平行圆盘间的压力分布计算 | 第29-30页 |
| 2.4 矩形导轨静态特性的计算 | 第30-39页 |
| 2.4.1 节流器单列分布时开式导轨静态性能的计算 | 第31-33页 |
| 2.4.2 节流器单列分布时静态性能计算的修正 | 第33-34页 |
| 2.4.3 节流器双列分布时开式导轨静态性能的计算 | 第34-35页 |
| 2.4.4 闭式导轨静态性能的计算 | 第35-39页 |
| 2.5 气体静压导轨的设计装配与精度检验 | 第39-45页 |
| 2.5.1 十字形气体静压导轨的设计装配 | 第39-41页 |
| 2.5.2 数控系统搭建与调试 | 第41-43页 |
| 2.5.3 几何精度与运动精度检测 | 第43-45页 |
| 2.6 本章小结 | 第45-46页 |
| 第3章 超精密铣研复合加工系统集成 | 第46-65页 |
| 3.1 引言 | 第46页 |
| 3.2 高精度垂直位移工作台 | 第46-51页 |
| 3.2.1 位移工作台方案设计 | 第46页 |
| 3.2.2 垂直位移工作台的设计搭建 | 第46-49页 |
| 3.2.3 调试与精度测量 | 第49-51页 |
| 3.3 高速铣削方案设计与实现 | 第51-55页 |
| 3.3.1 高速气浮电主轴HSPWM驱动控制 | 第52-53页 |
| 3.3.2 高速铣削控制软件开发 | 第53-55页 |
| 3.4 微力感知在位研磨传感器设计与调试 | 第55-64页 |
| 3.4.1 在位研磨方案设计 | 第56-57页 |
| 3.4.2 二维力传感器设计 | 第57-61页 |
| 3.4.3 在位研磨控制软件开发 | 第61-64页 |
| 3.5 本章小结 | 第64-65页 |
| 第4章 微构件的微铣削与研磨工艺试验研究 | 第65-81页 |
| 4.1 引言 | 第65页 |
| 4.2 微铣削加工实验 | 第65-74页 |
| 4.2.1 V型槽微铣削加工 | 第65-67页 |
| 4.2.2 微铣削主轴回转精度测量 | 第67-69页 |
| 4.2.3 微铣削主轴转速对垂直轴闭环特性的影响 | 第69-71页 |
| 4.2.4 微构件的微铣削工艺实验 | 第71-74页 |
| 4.3 在位研磨工艺试验研究 | 第74-80页 |
| 4.3.1 研磨膏粒度对表面质量的影响 | 第75-76页 |
| 4.3.2 研磨轨迹对表面质量的影响 | 第76-80页 |
| 4.4 本章小结 | 第80-81页 |
| 结论 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-86页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第86-88页 |
| 致谢 | 第88页 |