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CoFe基磁性薄膜制备及其表征方法研究

摘要第3-5页
Abstract第5-6页
第1章 绪论第9-17页
    1.1 自旋电子学的兴起第9-10页
    1.2 垂直磁各向异性薄膜介质第10-11页
    1.3 磁性隧道结(MTJ)效应物理机制—Julliere模型第11-14页
    1.4 光诱导超快自旋动力学第14-15页
    1.5 本文的研究内容及意义第15-17页
第2章 磁性薄膜的制备及表征第17-25页
    2.1 薄膜的制备第17-19页
        2.1.1 基片选择和清洗第17-18页
        2.1.2 薄膜的制备原理第18-19页
    2.2 薄膜的表征第19-25页
        2.2.1 薄膜磁特性的表征第19-20页
        2.2.2 薄膜磁光克尔效应的表征第20-21页
        2.2.3 薄膜反常霍尔效应的表征第21-22页
        2.2.4 薄膜晶体结构的表征—X射线衍射第22-25页
第3章 CoFeB面内磁性薄膜的制备及表征第25-33页
    引言第25页
    3.1 实验制备第25-26页
    3.2 结果与讨论第26-32页
        3.2.1 溅射功率对CoFeB薄膜磁与结构特性的影响第26-30页
        3.2.2 磁性层厚度对沉积态下薄膜磁特性影响第30-32页
    3.3 小结第32-33页
第4章 CoFeB垂直磁性薄膜的制备及表征第33-39页
    引言第33页
    4.1 实验制备第33-34页
    4.2 结果和分析第34-37页
        4.2.1 退火时间对CoFeB薄膜垂直各向异性的影响第34-35页
        4.2.2 磁性层厚度对CoFeB薄膜垂直各向异性的影响第35-36页
        4.2.3 MgO厚度对CoFeB薄膜垂直各向异性的影响第36-37页
    4.3 小结第37-39页
第5章 非晶TbFeCo磁性薄膜的制备及表征第39-47页
    引言第39页
    5.1 实验制备第39-40页
    5.2 结果与讨论第40-44页
        5.2.1 溅射功率对TbFeCo薄膜的影响第40-41页
        5.2.2 薄膜厚度对TbFeCo薄膜的影响第41-44页
    5.3 小结第44-47页
第6章 CoFeB/MgO/TbFeCo的制备及表征第47-51页
    引言第47页
    6.1 实验制备第47页
    6.2 结果与讨论第47-49页
    6.3 小结第49-51页
第7章 全文总结第51-53页
参考文献第53-61页
致谢第61-63页
个人简历、硕士期间发表的论文第63-64页

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