| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第11-29页 |
| 1.1 引言 | 第11页 |
| 1.2 光伏电池简介 | 第11-18页 |
| 1.2.1 光伏电池的基本原理 | 第11-13页 |
| 1.2.2 光伏电池的常规制备工艺 | 第13-18页 |
| 1.3 黑硅的性质及制备方法的介绍 | 第18-23页 |
| 1.3.1 黑硅的兴起及其光学性质简介 | 第18-20页 |
| 1.3.2 黑硅的常用制备方法 | 第20-23页 |
| 1.4 金属辅助刻湿法刻蚀 | 第23-28页 |
| 1.4.1 金属辅助湿法刻蚀的反应机理 | 第23-25页 |
| 1.4.2 金属辅助湿法刻蚀的研究进展 | 第25-28页 |
| 1.5 选题的意义 | 第28-29页 |
| 第2章 黑硅样品的表征 | 第29-33页 |
| 2.1 扫描电镜SEM(scanning electron microscope,SEM) | 第29页 |
| 2.2 反射率测量 | 第29-32页 |
| 2.3 反应速率 | 第32-33页 |
| 第3章 金属铜辅助湿法刻蚀制备黑硅的实验 | 第33-38页 |
| 3.1 实验过程 | 第33-34页 |
| 3.1.1 实验物品的准备 | 第33页 |
| 3.1.2 反应溶液的配制 | 第33页 |
| 3.1.3 实验流程 | 第33-34页 |
| 3.2 反应原理 | 第34-37页 |
| 3.3 小结 | 第37-38页 |
| 第4章 金属铜辅助湿法刻蚀制备黑硅的形貌调控 | 第38-53页 |
| 4.1 多晶样品的刻蚀 | 第38-46页 |
| 4.1.1 双氧水浓度的影响 | 第38-41页 |
| 4.1.2 氢氟酸浓度的影响 | 第41-42页 |
| 4.1.3 硝酸铜浓度的影响 | 第42-43页 |
| 4.1.4 温度的影响 | 第43-45页 |
| 4.1.5 光照的影响 | 第45-46页 |
| 4.2 单晶样品的刻蚀 | 第46-52页 |
| 4.2.1 金属银与金属铜辅助刻蚀单晶样品的对比 | 第46-50页 |
| 4.2.2 金属铜辅助刻蚀单晶样品与多晶样品的对比 | 第50-51页 |
| 4.2.3 金属铜辅助刻蚀单晶样品与碱制绒形貌的对比 | 第51-52页 |
| 4.3 小结 | 第52-53页 |
| 第5章 总结 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-57页 |
| 硕±期间发表论文 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
