掠入射结构光测量机械研磨面平面度技术研究
| 致谢 | 第3-4页 |
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 课题研究背景和意义 | 第9页 |
| 1.2 传统平面度检测方法 | 第9-15页 |
| 1.2.1 跨桥-水平仪法 | 第9-10页 |
| 1.2.2 液面法 | 第10-11页 |
| 1.2.3 三坐标测量法 | 第11页 |
| 1.2.4 激光跟踪仪法 | 第11-13页 |
| 1.2.5 传统结构光法 | 第13-14页 |
| 1.2.6 传统检测方法比较 | 第14-15页 |
| 1.3 课题任务 | 第15页 |
| 1.4 论文结构 | 第15-17页 |
| 2 掠入射结构光检测原理 | 第17-34页 |
| 2.1 总体方案 | 第17页 |
| 2.2 检测原理 | 第17-19页 |
| 2.3 公式推导 | 第19-24页 |
| 2.3.1 掠入射放大原理 | 第19-21页 |
| 2.3.2 平面度计算 | 第21-24页 |
| 2.4 图像处理 | 第24-30页 |
| 2.4.1 传统中心提取方法 | 第24页 |
| 2.4.2 本文方法—基于骨架法的灰度重心法 | 第24-29页 |
| 2.4.3 中心提取误差 | 第29-30页 |
| 2.5 器材选型 | 第30-33页 |
| 2.5.1 成像系统 | 第30-32页 |
| 2.5.2 结构光光源 | 第32-33页 |
| 2.6 本章小结 | 第33-34页 |
| 3 关键技术研究 | 第34-43页 |
| 3.1 掠入射放大技术 | 第34-36页 |
| 3.2 标定技术研究 | 第36-38页 |
| 3.3 系统误差修正技术 | 第38-42页 |
| 3.3.1 相机系统误差 | 第38-39页 |
| 3.3.2 激光线条直线度误差 | 第39页 |
| 3.3.3 各项误差分配 | 第39-42页 |
| 3.3.3.1 不确定度计算公式 | 第39-40页 |
| 3.3.3.2 各项误差初布设置 | 第40-41页 |
| 3.3.3.3 各项误差确定 | 第41-42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 4 实验 | 第43-55页 |
| 4.1 标定实验 | 第43-44页 |
| 4.1.1 成像系统放大倍率β标定 | 第43页 |
| 4.1.2 掠入射系统放大倍率标定 | 第43-44页 |
| 4.2 系统误差修正 | 第44-47页 |
| 4.3 参照实验—激光跟踪仪检测平面 | 第47-50页 |
| 4.4 激光器-导轨实现面扫描 | 第50-52页 |
| 4.5 实验结果分析 | 第52-53页 |
| 4.6 本章小结 | 第53-55页 |
| 5 总结和展望 | 第55-57页 |
| 5.1 论文主要内容及创新点 | 第55-56页 |
| 5.2 研究展望 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |
| 作者简历及攻读学位期间发表的学术论文与研究成果 | 第60页 |
