| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 研究背景和形状 | 第10-14页 |
| 1.1.1 MEMS加工工艺 | 第10-11页 |
| 1.1.2 可制造性设计概念 | 第11-13页 |
| 1.1.3 可制造性设计研究方法 | 第13页 |
| 1.1.4 MEMS综合和优化 | 第13-14页 |
| 1.2 论文研究内容及意义 | 第14-16页 |
| 1.2.1 MEMS器件的可制造研究 | 第14-15页 |
| 1.2.2 MEMS器件的系统级仿真和自动优化 | 第15-16页 |
| 1.3 论文组织结构 | 第16-18页 |
| 第二章 工艺偏差及其对MEMS器件力学特性的影响 | 第18-24页 |
| 2.1 主要工艺偏差 | 第18-20页 |
| 2.1.1 DRIE工艺偏差 | 第18-19页 |
| 2.1.2 Footing效应 | 第19页 |
| 2.1.3 TDME工艺偏差 | 第19-20页 |
| 2.2 梁结构与梳状谐振器力学特性 | 第20-22页 |
| 2.2.1 梁结构的谐振频率特性 | 第20-21页 |
| 2.2.2 梳状谐振器动力学原理 | 第21-22页 |
| 2.3 工艺偏差对谐振频率的影响 | 第22-23页 |
| 2.4 本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 纵向运动的梁结构建模 | 第24-40页 |
| 3.1 单效应修正模型 | 第24-28页 |
| 3.1.1 梯形效应下的修正模型 | 第24-25页 |
| 3.1.2 Footing效应下的修正模型 | 第25-26页 |
| 3.1.3 波纹效应下的修正模型 | 第26-28页 |
| 3.2 多效应修正模型 | 第28-32页 |
| 3.2.1 梯形+Footing效应下的修正模型 | 第28-29页 |
| 3.2.2 梯形+Footing+波纹效应下的修正模型 | 第29-32页 |
| 3.3 模型仿真与验证 | 第32-38页 |
| 3.3.1 梯形效应模型 | 第32-33页 |
| 3.3.2 Footing效应模型 | 第33-35页 |
| 3.3.3 波纹效应模型 | 第35页 |
| 3.3.4 梯形+Footing效应模型 | 第35-37页 |
| 3.3.5 梯形+Footing+波纹效应模型 | 第37-38页 |
| 3.4 本章小结 | 第38-40页 |
| 第四章 横向运动的梁结构建模 | 第40-54页 |
| 4.1 单效应修正模型 | 第40-44页 |
| 4.1.1 梯形效应下的修正模型 | 第40-41页 |
| 4.1.2 Footing效应下的修正模型 | 第41-42页 |
| 4.1.3 波纹效应下的修正模型 | 第42-44页 |
| 4.2 多效应修正模型 | 第44-47页 |
| 4.2.1 梯形+Footing效应下的修正模型 | 第44页 |
| 4.2.2 梯形+Footing+波纹效应下修正模型 | 第44-47页 |
| 4.3 模型仿真与验证 | 第47-52页 |
| 4.3.1 梯形效应模型 | 第47-48页 |
| 4.3.2 Footing效应模型 | 第48-50页 |
| 4.3.3 波纹效应模型 | 第50页 |
| 4.3.4 梯形+Footing效应模型 | 第50-51页 |
| 4.3.5 梯形+Footing+波纹效应模型 | 第51-52页 |
| 4.4 本章小结 | 第52-54页 |
| 第五章 梳状谐振器谐振频率建模 | 第54-66页 |
| 5.1 单效应修正模型 | 第55-56页 |
| 5.1.1 梯形效应下的修正模型 | 第55页 |
| 5.1.2 Footing效应下的修正模型 | 第55-56页 |
| 5.1.3 波纹效应下的修正模型 | 第56页 |
| 5.2 多效应修正模型 | 第56-58页 |
| 5.2.1 梯形+Footing效应下的修正模型 | 第56-57页 |
| 5.2.2 梯形+Footing+波纹效应下的修正模型 | 第57-58页 |
| 5.3 模型仿真与验证 | 第58-63页 |
| 5.3.1 梯形效应模型 | 第58-60页 |
| 5.3.2 Footing效应模型 | 第60-61页 |
| 5.3.3 波纹效应模型 | 第61-62页 |
| 5.3.4 梯形+Footing+波纹效应模型 | 第62-63页 |
| 5.4 本章小结 | 第63-66页 |
| 第六章 自动优化算法及软件实现 | 第66-80页 |
| 6.1 MEMS器件等效电路宏模型 | 第66-71页 |
| 6.1.1 初始电容 | 第68-69页 |
| 6.1.2 机电耦合系数 | 第69-70页 |
| 6.1.3 弹性系数 | 第70页 |
| 6.1.4 SPICE模型验证 | 第70-71页 |
| 6.2 自动设计优化方法 | 第71-72页 |
| 6.3 优化软件界面和功能介绍 | 第72-76页 |
| 6.4 软件调用 | 第76-78页 |
| 6.5 本章小结 | 第78-80页 |
| 第七章 总结与展望 | 第80-82页 |
| 7.1 总结 | 第80页 |
| 7.2 展望 | 第80-82页 |
| 致谢 | 第82-84页 |
| 作者简介 | 第84-86页 |
| 参考文献 | 第86-88页 |
