基于任意步长相移干涉的MEMS表面形貌测量技术研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 选题的背景及意义 | 第8页 |
| 1.2 表面微观形貌测量技术 | 第8-12页 |
| 1.2.1 探针法 | 第9-10页 |
| 1.2.2 光学测量法 | 第10-11页 |
| 1.2.3 各种测量方法的比较 | 第11-12页 |
| 1.3 本课题研究的主要内容 | 第12-14页 |
| 第2章 相移干涉法的基础理论 | 第14-24页 |
| 2.1 干涉显微机构 | 第14-16页 |
| 2.2 相移干涉法的基本测量原理 | 第16-17页 |
| 2.3 相移方法 | 第17-19页 |
| 2.4 相位提取算法 | 第19-23页 |
| 2.4.1 定步长相移算法 | 第19-20页 |
| 2.4.2 等步长相移算法 | 第20-21页 |
| 2.4.3 任意步长相移算法 | 第21-23页 |
| 2.5 相位解包裹算法 | 第23页 |
| 2.6 本章总结 | 第23-24页 |
| 第3章 一种针对MEMS微结构表面形貌在线测量法 | 第24-34页 |
| 3.1 相移量的计算 | 第24-29页 |
| 3.2 任意步长相位提取原理 | 第29-33页 |
| 3.3 本章总结 | 第33-34页 |
| 第4章 基于SU-8的MEMS测试结构加工工艺 | 第34-40页 |
| 4.1 SU-8加工工艺简述 | 第34页 |
| 4.2 悬臂梁测试结构工艺过程 | 第34-37页 |
| 4.3 工艺环节与参数讨论 | 第37-39页 |
| 4.4 本章总结 | 第39-40页 |
| 第5章 MEMS微结构表面形貌测量实验 | 第40-55页 |
| 5.1 实验系统与装置 | 第40-41页 |
| 5.2 干涉图采集 | 第41-42页 |
| 5.3 干涉图处理 | 第42-44页 |
| 5.3.1 MEMS衬底表面形貌重构 | 第43-44页 |
| 5.3.2 MEMS悬臂梁表面形貌重构 | 第44页 |
| 5.4 实验讨论与分析 | 第44-53页 |
| 5.4.1 系统测量分辨率 | 第44-45页 |
| 5.4.2 系统垂直测量范围 | 第45-46页 |
| 5.4.3 与Kong-Kim算法对比 | 第46-50页 |
| 5.4.4 系统测量的相移值误差 | 第50-53页 |
| 5.4.5 测量系统的其他误差分析 | 第53页 |
| 5.5 本章总结 | 第53-55页 |
| 第6章 总结与展望 | 第55-57页 |
| 6.1 论文工作总结 | 第55页 |
| 6.2 论文工作展望 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文及研究成果 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62页 |
