| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 引言 | 第9-10页 |
| 1.2 滚珠丝杠副内外螺旋滚道型面检测研究现状 | 第10-15页 |
| 1.2.1 丝杠螺旋滚道型面检测方法研究现状 | 第10-13页 |
| 1.2.2 螺母螺旋滚道型面检测方法研究现状 | 第13-14页 |
| 1.2.3 检测系统的误差补偿方法研究现状 | 第14-15页 |
| 1.3 滚珠丝杠行程误差检测方法研究现状 | 第15-16页 |
| 1.4 课题意义与主要研究内容 | 第16-17页 |
| 1.4.1 课题背景及意义 | 第16页 |
| 1.4.2 主要研究内容 | 第16-17页 |
| 1.5 本章小结 | 第17-18页 |
| 2 丝杠滚道型面检测系统的构成及工作原理 | 第18-31页 |
| 2.1 检测系统硬件构成 | 第18-23页 |
| 2.1.1 机械结构 | 第18-20页 |
| 2.1.2 测控系统 | 第20-23页 |
| 2.2 检测系统软件设计 | 第23-28页 |
| 2.2.1 参数设置模块设计 | 第24-25页 |
| 2.2.2 数据采集模块设计 | 第25页 |
| 2.2.3 误差分析模块设计 | 第25-26页 |
| 2.2.5 打印报表模块设计 | 第26页 |
| 2.2.6 安装误差求解模块设计 | 第26-27页 |
| 2.2.7 其它模块设计 | 第27-28页 |
| 2.3 检测系统工作原理及试验操作流程 | 第28-30页 |
| 2.3.1 工作原理 | 第28-29页 |
| 2.3.2 试验操作流程 | 第29-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 3 丝杠滚道型面检测系统的数据处理算法 | 第31-42页 |
| 3.1 数据预处理方法 | 第31-35页 |
| 3.2 最小二乘法拟合圆弧 | 第35-36页 |
| 3.3 滚珠球心坐标的求取算法 | 第36-37页 |
| 3.4 滚珠丝杠滚道参数计算方法 | 第37-41页 |
| 3.4.1 滚珠丝杠滚道几何参数计算方法 | 第37-39页 |
| 3.4.2 滚珠丝杠其他参数计算方法 | 第39-41页 |
| 3.5 本章小结 | 第41-42页 |
| 4 丝杠滚道型面检测系统测量误差分析与补偿 | 第42-69页 |
| 4.1 钢球法分析系统误差 | 第42-43页 |
| 4.2 位移传感器安装误差 | 第43-49页 |
| 4.2.1 光幕式位移传感器安装误差 | 第45-49页 |
| 4.2.2 光栅尺安装误差 | 第49页 |
| 4.3 测量架旋转精度 | 第49-51页 |
| 4.3.1 蜗轮蜗杆反向间隙 | 第50页 |
| 4.3.2 蜗轮蜗杆旋转误差 | 第50-51页 |
| 4.4 气浮移动平台直线度误差 | 第51-52页 |
| 4.5 丝杠安装偏心误差 | 第52-54页 |
| 4.6 位移传感器误差 | 第54-59页 |
| 4.6.1 光幕式位移传感器误差 | 第54-56页 |
| 4.6.2 光栅尺误差 | 第56-59页 |
| 4.7 误差补偿 | 第59-68页 |
| 4.7.1 光幕式位移传感器竖直面内的安装误差的求取方法 | 第60-61页 |
| 4.7.2 光幕式位移传感器水平面内的安装误差的求取方法 | 第61页 |
| 4.7.3 安装误差求取方法的试验验证 | 第61-66页 |
| 4.7.4 未知系统误差的补偿 | 第66-68页 |
| 4.8 本章小结 | 第68-69页 |
| 5 丝杠滚道型面检测系统的试验与分析 | 第69-79页 |
| 5.1 试验条件 | 第69页 |
| 5.2 精度试验与结果分析 | 第69-71页 |
| 5.3 重复性试验与结果分析 | 第71-73页 |
| 5.4 国内外丝杠对比试验与结果分析 | 第73-78页 |
| 5.4.1 试验样件 | 第73页 |
| 5.4.2 试验结果与分析 | 第73-78页 |
| 5.5 本章小结 | 第78-79页 |
| 6 丝杠行程误差主动非接触式测量方法研究 | 第79-90页 |
| 6.1 丝杠行程误差的动态测量法 | 第79-81页 |
| 6.2 丝杠行程误差的主动非接触式测量方法 | 第81-83页 |
| 6.3 对比试验及结果分析 | 第83-86页 |
| 6.3.1 试验条件 | 第83页 |
| 6.3.2 试验结果与分析 | 第83-86页 |
| 6.4 误差分析 | 第86-88页 |
| 6.4.1 丝杠安装偏心对测量丝杠行程误差的影响 | 第86-87页 |
| 6.4.2 气浮移动平台直线度误差对测量丝杠行程误差的影响 | 第87-88页 |
| 6.5 本章小结 | 第88-90页 |
| 7 总结与展望 | 第90-92页 |
| 7.1 论文主要研究成果 | 第90-91页 |
| 7.2 展望 | 第91-92页 |
| 致谢 | 第92-93页 |
| 参考文献 | 第93-97页 |
| 附录 | 第97页 |
