| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-27页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第11-13页 |
| 1.1.1 研究背景 | 第11-12页 |
| 1.1.2 研究意义 | 第12-13页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第13-23页 |
| 1.2.1 压电陶瓷驱动器的分类 | 第13-16页 |
| 1.2.2 压电陶瓷驱动器研究现状 | 第16-17页 |
| 1.2.3 压电陶瓷数学建模与控制算法研究现状 | 第17-23页 |
| 1.3 课题研究目的及内容安排 | 第23-27页 |
| 1.3.1 主要研究目的 | 第23页 |
| 1.3.2 主要研究内容 | 第23-24页 |
| 1.3.3 论文的章节安排 | 第24-27页 |
| 第2章 压电陶瓷特性 | 第27-35页 |
| 2.1 压电陶瓷概述 | 第27-29页 |
| 2.1.1 正逆压电效应 | 第27-28页 |
| 2.1.2 压电陶瓷形变原因 | 第28-29页 |
| 2.2 压电陶瓷特性 | 第29-31页 |
| 2.2.1 迟滞特性 | 第29-30页 |
| 2.2.2 蠕变特性 | 第30页 |
| 2.2.3 温度特性 | 第30-31页 |
| 2.3 压电陶瓷微观极化机理分析 | 第31-33页 |
| 2.4 本章小结 | 第33-35页 |
| 第3章 压电偏摆镜的结构 | 第35-43页 |
| 3.1 压电偏摆镜的驱动结构 | 第35-37页 |
| 3.2 压电陶瓷制动器 | 第37-38页 |
| 3.3 压电陶瓷精密偏转机构 | 第38-39页 |
| 3.4 反馈信号采集传感器 | 第39-42页 |
| 3.4.1 电阻应变片传感器原理 | 第40-41页 |
| 3.4.2 反馈信号转换电路 | 第41-42页 |
| 3.5 本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 伺服控制驱动系统硬件电路 | 第43-67页 |
| 4.1 硬件电路的总体结构 | 第43页 |
| 4.2 控制模块电路 | 第43-52页 |
| 4.2.1 控制模块电路原理 | 第43-44页 |
| 4.2.2 DSP及其外围电路概述 | 第44-46页 |
| 4.2.3 FPGA及其外围电路概述 | 第46-49页 |
| 4.2.4 D/A转换概述 | 第49-50页 |
| 4.2.5 A/D转换概述 | 第50-52页 |
| 4.3 驱动模块电路 | 第52-55页 |
| 4.4 检测模块电路 | 第55-59页 |
| 4.5 控制驱动系统的性能测试 | 第59-64页 |
| 4.5.1 控制驱动系统线性度检测 | 第62-63页 |
| 4.5.2 控制驱动系统输出稳定性检测 | 第63-64页 |
| 4.5.3 控制驱动系统零点重复性检测 | 第64页 |
| 4.6 本章小结 | 第64-67页 |
| 第5章 压电偏摆镜的建模及控制算法设计 | 第67-83页 |
| 5.1 引言 | 第67-68页 |
| 5.2 基于PI迟滞模型的建模及参数辨识 | 第68-71页 |
| 5.2.1 PI迟滞模型的建立 | 第68-69页 |
| 5.2.2 参数辨识 | 第69-71页 |
| 5.3 压电偏摆镜的控制方案 | 第71-75页 |
| 5.3.1 基于PI模型的前馈控制 | 第72页 |
| 5.3.2 前馈与PID反馈复合控制 | 第72-75页 |
| 5.4 实验测PI迟滞模型及其逆模型参数 | 第75-77页 |
| 5.5 跟踪控制实验 | 第77-81页 |
| 5.5.1 仅使用前馈的开环控制跟踪精度 | 第78-79页 |
| 5.5.2 前馈与反馈控制器复合的闭环控制跟踪精度及重复精度 | 第79-81页 |
| 5.6 本章小结 | 第81-83页 |
| 第6章 总结与展望 | 第83-85页 |
| 6.1 工作总结 | 第83-84页 |
| 6.2 研究展望 | 第84-85页 |
| 参考文献 | 第85-89页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第89-91页 |
| 指导教师及作者简介 | 第91-93页 |
| 致谢 | 第93页 |