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射频磁控溅射粉末靶制备多层透明导电薄膜的特性

中文摘要第1-6页
ABSTRACT第6-10页
1.绪论第10-15页
   ·研究背景及意义第10-11页
   ·TCO/金属/TCO多层膜发展过程及特点第11-12页
   ·PI薄膜和PI/石墨烯薄膜的特点第12-13页
   ·制备方法与内容第13-15页
2.实验及表征方法第15-24页
   ·实验第15-16页
     ·实验设备第15-16页
     ·实验材料第16页
     ·薄膜制备第16页
   ·表征方法第16-24页
     ·原子力显微镜第16-18页
     ·X射线衍射仪第18-20页
     ·台阶仪第20-21页
     ·紫外-可见分光光度计第21-22页
     ·霍尔效应测试仪第22-24页
3.玻璃、PI和PI/石墨烯基体上制备单层薄膜第24-31页
   ·玻璃、PI和PI/石墨烯上制备单层AZO薄膜第24-26页
     ·玻璃、PI和PI/石墨烯上单层AZO薄膜的光学性能比较第24-25页
     ·玻璃、PI和PI/石墨烯上单层AZO薄膜的电学性能比较第25-26页
   ·玻璃、PI和PI/石墨烯上制备单层Ag薄膜第26-30页
     ·玻璃、PI和PI/石墨烯上单层Ag薄膜的光学性能比较第27-29页
     ·玻璃、PI和PI/石墨烯上单层Ag薄膜的电学性能比较第29-30页
   ·小结第30-31页
4.玻璃基体上制备AZO/Ag/AZO三层薄膜第31-48页
   ·玻璃基体上制备的单层膜与三层膜比较第31-35页
     ·玻璃基体上单层膜与三层膜表面形貌比较第31-32页
     ·玻璃基体上单层膜与三层膜结构比较第32-33页
     ·玻璃基体上单层膜与三层膜光学性能比较第33-34页
     ·玻璃基体上单层膜与三层膜电学性能比较第34-35页
   ·玻璃基体上中间Ag层厚度对三层膜的影响第35-41页
     ·玻璃基体上中间Ag层厚度变化对三层膜表面形貌影响第35-36页
     ·玻璃基体上中间Ag层厚度变化对三层膜结构影响第36-37页
     ·玻璃基体上中间Ag层厚度变化对三层膜光学性能影响第37-38页
     ·玻璃基体上中间Ag层厚度变化对三层膜电学性能影响第38-40页
     ·玻璃基体上中间Ag层厚度对三层膜影响的综合分析第40-41页
   ·玻璃基体上两组不同Ag层厚度的三层膜对比第41-46页
     ·玻璃基体上两组不同Ag层厚度三层膜的表面形貌对比第41-42页
     ·玻璃基体上两组不同Ag层厚度三层膜的结构变化比较第42-44页
     ·玻璃基体上两组不同Ag层厚度三层膜的光学性能对比第44-45页
     ·玻璃基体上两组不同Ag层厚度三层膜的电学性能对比第45-46页
   ·玻璃基体上制备AZO/Ag/AZO三层薄膜的稳定性第46-47页
   ·小结第47-48页
5.玻璃和PI基体上制备AZO/Ag/AZO薄膜的性能比较第48-53页
   ·玻璃和PI基体上三层膜表面形貌比较第48-49页
   ·玻璃和PI基体上三层膜结构比较第49-50页
   ·玻璃和PI基体上三层膜光学性能比较第50-51页
   ·玻璃和PI基体上三层膜电学性能比较第51-52页
   ·小结第52-53页
6. PI/石墨烯/Ag/AZO薄膜的制备第53-56页
7.结论第56-58页
参考文献第58-61页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第61-62页
致谢第62-63页
作者简介第63-64页

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