| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-31页 |
| ·选题目的及意义 | 第11-14页 |
| ·计算全息光学元件(CGH)检测非球面研究发展现状 | 第14-25页 |
| ·CGH替代传统补偿镜的测试系统 | 第14-20页 |
| ·CGH对传统补偿器进行标校 | 第20-22页 |
| ·用球面CGH检测大口径凸非球面 | 第22-24页 |
| ·使用CGH补偿器测量非典型光学表面面形 | 第24-25页 |
| ·CGH专用激光刻写设备最新研制进展 | 第25-29页 |
| ·本文主要研究工作 | 第29-31页 |
| 第二章 非球面干涉检测与补偿器设计原理 | 第31-39页 |
| ·非球面方程与法线像差 | 第31-32页 |
| ·表征实际测量时非球面面形指标 | 第32-34页 |
| ·Offner补偿器设计原理及实例 | 第34-39页 |
| 第三章 计算全息光学元件(CGH)设计原理及误差分析 | 第39-61页 |
| ·衍射光学理论分析 | 第39-45页 |
| ·二元线性光栅模型 | 第39-41页 |
| ·普通衍射透镜 | 第41-44页 |
| ·衍射零透镜 | 第44-45页 |
| ·衍射光线追迹 | 第45页 |
| ·非球面检测用CGH理论分析 | 第45-50页 |
| ·CGH补偿检测非球面镜原理 | 第45-46页 |
| ·非球面检测用CGH的位相表达式 | 第46-50页 |
| ·本论文CGH设计详细数学分析模型 | 第50-61页 |
| ·设计分析模型 | 第50-53页 |
| ·加工误差分析模型 | 第53-61页 |
| 第四章 CGH补偿器设计实例 | 第61-77页 |
| ·同轴凹非球面CGH设计实例 | 第61-69页 |
| ·凹非球面检测用CGH主全息设计 | 第61-68页 |
| ·凹非球面检测用定位CGH设计 | 第68-69页 |
| ·同轴凸非球面反射镜CGH设计实例 | 第69-72页 |
| ·将标准平面波转化为与待检凸非球面一致的非球面波 | 第69-70页 |
| ·在凹球面镜上制作曲面计算全息补偿检测大口径凸非球面 | 第70-72页 |
| ·离轴非球面CGH检测元件的设计实例 | 第72-77页 |
| 第五章 计算全息光学元件(CGH)的制造与实验 | 第77-93页 |
| ·CGH制造的关键临界尺寸 | 第77-79页 |
| ·CGH的制造工艺 | 第79-81页 |
| ·基板测试与清洁 | 第79页 |
| ·振幅型CGH制作 | 第79-80页 |
| ·位相型CGH制作 | 第80-81页 |
| ·实际制造的CGH基板测试与表面形貌测试 | 第81-86页 |
| ·基板测试 | 第81-82页 |
| ·CGH加工实物与表面形貌测试 | 第82-86页 |
| ·Offner补偿器与CGH补偿器检测实验对比 | 第86-93页 |
| ·Offner补偿器检测实验 | 第86-89页 |
| ·CGH补偿器检测实验 | 第89-93页 |
| 第六章 总结与展望 | 第93-95页 |
| ·总结 | 第93页 |
| ·展望 | 第93-95页 |
| 参考文献 | 第95-99页 |
| 作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第99页 |
