| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| ·引言 | 第9-11页 |
| ·微波介质薄膜的研究现状 | 第11-17页 |
| ·微波介质薄膜的体系 | 第11-15页 |
| ·微波介质薄膜的制备方法 | 第15-17页 |
| ·本论文的提出与研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 实验方法 | 第19-31页 |
| ·实验原料与设备 | 第19-20页 |
| ·Ba(Mg_(1/3)Ta_(2/3))O_3前驱体溶液的制备 | 第20-24页 |
| ·P-Ta-CA(过氧化柠檬酸钽)溶液的制备 | 第20-23页 |
| ·Ba(Mg_(1/3)Ta_(2/3))O_3前驱体溶液的制备 | 第23-24页 |
| ·BMT 介电薄膜的制备 | 第24-26页 |
| ·介质薄膜结构与性能的表征方法 | 第26-31页 |
| ·热分析 | 第26页 |
| ·显微结构分析 | 第26-27页 |
| ·物相结构分析 | 第27页 |
| ·拉曼光谱分析 | 第27页 |
| ·X-射线光电子能谱分析 | 第27-28页 |
| ·性能测试 | 第28-31页 |
| 第3章 水溶液-凝胶法制备 BMT 薄膜的工艺研究 | 第31-44页 |
| ·CA 对 BMT 溶液稳定性的影响 | 第31-33页 |
| ·退火方式对 BMT 薄膜的影响 | 第33-36页 |
| ·预处理时间对 BMT 薄膜的影响 | 第36-39页 |
| ·预处理时间对 BMT 薄膜相结构的影响 | 第36-37页 |
| ·预处理时间对 BMT 薄膜形貌的影响 | 第37-39页 |
| ·退火温度对 BMT 薄膜的影响 | 第39-44页 |
| ·退火温度对 BMT 薄膜相结构的影响 | 第39-40页 |
| ·退火温度对 BMT 薄膜形貌的影响 | 第40-42页 |
| ·退火温度对 BMT 薄膜性能的影响 | 第42-44页 |
| 第4章 Zn 掺杂 BMT 薄膜的结构与性能研究 | 第44-56页 |
| ·Zn 掺杂对 BMT 薄膜相结构的影响 | 第44-47页 |
| ·Zn 掺杂对 BMT 薄膜形貌的影响 | 第47-49页 |
| ·Zn 掺杂对 BMT 薄膜性能的影响 | 第49-52页 |
| ·Zn 掺杂 BMT 薄膜的微波介电性能 | 第52-56页 |
| 第5章 结论 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-62页 |
| 致谢 | 第62页 |
