| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| Contents | 第9-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-26页 |
| ·引言 | 第11页 |
| ·GaN材料的基本性质和外延生长方法 | 第11-16页 |
| ·GaN材料的性质 | 第11-13页 |
| ·GaN材料的外延生长 | 第13-16页 |
| ·激光剥离技术的概况 | 第16-20页 |
| ·提出激光剥离技术的原因 | 第16-17页 |
| ·激光剥离技术的原理 | 第17页 |
| ·激光剥离技术的优势 | 第17-18页 |
| ·激光剥离技术的发展 | 第18页 |
| ·激光剥离系统简介 | 第18-19页 |
| ·激光剥离过程的关键点 | 第19-20页 |
| ·COMSOL Multiphysics软件简介 | 第20-21页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第21-22页 |
| 参考文献 | 第22-26页 |
| 第二章 激光剥离过程的理论分析 | 第26-41页 |
| ·引言 | 第26页 |
| ·GaN分解过程的理论分析 | 第26-29页 |
| ·激光剥离过程GaN外延层温度场分布分析 | 第29-39页 |
| ·激光能量密度对GaN内温度场分布的影响 | 第33-36页 |
| ·衬底温度对GaN内温度场分布的影响 | 第36-38页 |
| ·激光脉冲宽度对GaN内温度场分布的影响 | 第38-39页 |
| ·激光脉冲频率对GaN内温度场分布的影响 | 第39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 参考文献 | 第40-41页 |
| 第三章 COMSOL模拟激光作用下GaN的二维温度分布 | 第41-51页 |
| ·引言 | 第41页 |
| ·COMSOL模拟均匀热源作用GaN/蓝宝石结构 | 第41-47页 |
| ·模拟具体步骤 | 第41-45页 |
| ·模拟结果分析 | 第45-47页 |
| ·COMSOL模拟高斯热源作用GaN/蓝宝石结构 | 第47-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-51页 |
| 第四章 激光剥离实验 | 第51-73页 |
| ·引言 | 第51页 |
| ·常温常压下激光剥离实验 | 第51-59页 |
| ·清洗 | 第52页 |
| ·粘合GaN和Si片 | 第52-53页 |
| ·激光剥离 | 第53-54页 |
| ·去除Ga金属 | 第54页 |
| ·实验结果和分析 | 第54-59页 |
| ·加热条件下的激光剥离 | 第59-61页 |
| ·低压常温下的激光剥离 | 第61-71页 |
| ·从蓝宝石一侧进行激光辐射实验 | 第62-65页 |
| ·从GaN一侧进行激光辐射实验 | 第65-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-73页 |
| 第五章 总结及展望 | 第73-75页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76页 |