纳米位移台六自由度的激光干涉校准系统的研制
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 综述 | 第9-23页 |
| ·纳米位移台 | 第9-11页 |
| ·纳米测量技术 | 第11-19页 |
| ·纳米测量方法 | 第11-17页 |
| ·纳米测量的溯源 | 第17-19页 |
| ·纳米台的多自由度测量 | 第19-21页 |
| ·论文的研究内容及组织结构 | 第21-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 第二章 纳米位移台六自由度校准系统的构建 | 第23-39页 |
| ·干涉仪介绍 | 第23-29页 |
| ·激光外差干涉原理 | 第23页 |
| ·HSPMI 高稳定性平面镜干涉仪 | 第23-25页 |
| ·紧凑型 3 轴高稳定性平面镜干涉仪 | 第25-26页 |
| ·测角原理 | 第26-29页 |
| ·校准系统光路布局设计 | 第29-30页 |
| ·机械结构设计 | 第30-34页 |
| ·总体设计 | 第30-31页 |
| ·Z 轴光路龙门结构设计 | 第31页 |
| ·纳米台调整机构设计 | 第31-33页 |
| ·系统质心和支脚位置仿真 | 第33-34页 |
| ·检测能力和指标 | 第34-37页 |
| ·位移量程 | 第34页 |
| ·位移分辨率 | 第34-35页 |
| ·角度量程 | 第35-36页 |
| ·角度分辨率 | 第36-37页 |
| ·最大测量速度 | 第37页 |
| ·波长补偿仪 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第三章 软件程序设计 | 第39-51页 |
| ·程序总体方案设计 | 第39-41页 |
| ·信号采集处理 | 第41-44页 |
| ·ZMI4004 测量板 | 第42-43页 |
| ·ZMI4004 的 VME 总线接口 | 第43-44页 |
| ·基于 VME 总线的 VC++程序编写 | 第44-50页 |
| ·VME 总线概括 | 第44-45页 |
| ·VME 总线与 PCI 总线 | 第45-46页 |
| ·VME 总线编程 | 第46-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第四章 实验及误差分析 | 第51-63页 |
| ·一维激光干涉纳米位移校准系统的构建 | 第51-54页 |
| ·纳米位移台五自由度校准系统测试实验 | 第54-60页 |
| ·X 轴运动时纳米台 5 自由度的测试 | 第55-57页 |
| ·Y 轴运动时纳米台 5 自由度的测试 | 第57-60页 |
| ·系统误差分析 | 第60-62页 |
| ·环境误差 | 第60-61页 |
| ·原理误差 | 第61页 |
| ·非线性误差 | 第61页 |
| ·平面镜正交误差 | 第61页 |
| ·阿贝误差 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第五章 总结展望 | 第63-65页 |
| ·总结 | 第63-64页 |
| ·展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-70页 |
| 附录一 | 第70-81页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及研究成果 | 第81-82页 |
| 致谢 | 第82页 |
