| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-11页 |
| ·VCSEL的发展史 | 第7-8页 |
| ·VCSEL具有的优势和结构特点 | 第8-9页 |
| ·VCSEL的应用前景 | 第9-10页 |
| ·本论文的主要工作 | 第10-11页 |
| 第二章 VCSEL的热扩散理论及分析 | 第11-19页 |
| ·热效应对VCSEL的性能影响 | 第11-12页 |
| ·VCSEL的热效应产生机理 | 第12-19页 |
| 第三章 可见光VCSEL阵列的制备工艺研究 | 第19-33页 |
| ·外延片的XRD测试 | 第19-21页 |
| ·新型电极结构的设计 | 第21-23页 |
| ·光刻工艺 | 第23-27页 |
| ·刻蚀工艺 | 第27-28页 |
| ·湿法氧化工艺 | 第28-30页 |
| ·欧姆接触工艺过程 | 第30-31页 |
| ·可见光VCSEL阵列的制备 | 第31-33页 |
| 第四章 新型电极结构VCSEL阵列的热特性模拟及优化 | 第33-45页 |
| ·ANSYS有限元软件的模拟、分析过程 | 第33-34页 |
| ·可见光VCSEL阵列的稳态热分析 | 第34-42页 |
| ·可见光VCSEL阵列的瞬态热分析 | 第42-45页 |
| 第五章 可见光VCSEL阵列的性能测试和分析 | 第45-49页 |
| ·光电特性测试结果 | 第45-47页 |
| ·光束特性测试 | 第47-49页 |
| 结论 | 第49-50页 |
| 致谢 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-52页 |