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大气压介质阻挡放电一步制备TiO2光催化薄膜

摘要第1-6页
Abstract第6-12页
引言第12-13页
1 文献综述第13-31页
   ·Ti02的性质及应用第13-16页
     ·Ti02的性质与结构第13-15页
     ·纳米Ti02的性能第15页
     ·纳米Ti02薄膜的应用第15-16页
   ·Ti02的光催化原理第16-18页
   ·纳米Ti02薄膜的制备方法第18-22页
     ·溶胶-凝胶法第18-19页
     ·液相沉积法第19页
     ·物理气相沉积法第19-20页
     ·化学气相沉积法第20-22页
   ·介质阻挡放电第22-28页
     ·介质阻挡放电历史第22-23页
     ·介质阻挡放电原理第23-25页
     ·介质阻挡放电分类第25-26页
     ·介质阻挡放电应用第26-27页
     ·介质阻挡放电制备Ti02薄膜的研究现状第27-28页
   ·Ti02薄膜光催化脱除空气污染物甲醛的反应速率第28-29页
   ·本论文主要研究内容第29-31页
2 实验装置和实验方法第31-41页
   ·介质阻挡放电制备Ti02薄膜的实验装置第31-32页
   ·放电参数的测定第32-33页
   ·发射光谱(OES)诊断第33-34页
   ·Ti02薄膜的表征第34-37页
     ·Ti02薄膜沉积量的定量测定第34-36页
     ·表面轮廓仪第36页
     ·扫描电镜(SEM)第36页
     ·紫外可见光谱(UV-Vis)第36页
     ·X射线光电子能谱(XPS)第36页
     ·激光拉曼光谱(Raman)第36-37页
     ·傅里叶变换红外光谱(FTIR)第37页
   ·Ti02薄膜的光催化活性评价第37-39页
   ·实验试剂与仪器第39-41页
     ·实验试剂第39-40页
     ·实验仪器第40-41页
3 大气压介质阻挡表面放电一步制备Ti02光催化薄膜第41-52页
   ·引言第41页
   ·介质阻挡表面放电的反应器第41-43页
   ·Ti02薄膜的沉积速率第43-44页
   ·Ti02薄膜的Raman表征第44-45页
   ·焙烧温度对Ti02薄膜光催化活性的影响第45-46页
   ·沉积时间对Ti02薄膜光催化活性的影响第46-47页
   ·一步制备Ti02光催化薄膜第47-50页
   ·介质阻挡表面放电沉积Ti02薄膜过程中存在的问题第50-51页
   ·本章小结第51-52页
4 大气压线-板介质阻挡体放电一步制备Ti02光催化薄膜第52-78页
   ·引言第52页
   ·线-板介质阻挡体放电反应器第52-53页
   ·Ti02薄膜制备的预备实验第53-56页
   ·N2对Ti02薄膜沉积的调制效应第56-66页
     ·N2含量对Ti02薄膜沉积速率的影响第57-58页
     ·N2含量对Ti02薄膜粒径的影响第58-60页
     ·不同N2含量制备Ti02薄膜的UV-Vis光谱第60-61页
     ·不同N2含量制备Ti02薄膜的XPS能谱第61-64页
     ·N2含量对Ti02薄膜光催化活性的影响第64-66页
   ·N2对Ti02薄膜沉积的调制机理分析第66-77页
     ·发射光谱(OES)诊断第66-71页
     ·不同N2含量放电体系的等离子体参数第71-76页
     ·N2对Ti02薄膜沉积的调制机理分析第76-77页
   ·本章小结第77-78页
5 Ti02薄膜的均匀性与光催化反应速率的影响因素第78-98页
   ·引言第78页
   ·Ti02薄膜的沉积条件、厚度和形貌第78-80页
   ·Ti02薄膜的UV-Vis光谱和均匀性第80-83页
   ·Ti02薄膜的结构第83-85页
     ·Ti02薄膜的Raman光谱第83-84页
     ·Ti02薄膜的FTIR光谱第84-85页
   ·Ti02薄膜光催化氧化甲醛反应速率的影响因素第85-96页
     ·薄膜至石英窗距离的确定第86-87页
     ·薄膜厚度对甲醛光催化氧化反应的影响第87-88页
     ·停留时间对甲醛光催化氧化反应的影响第88-90页
     ·光强对甲醛光催化氧化反应的影响第90-92页
     ·甲醛初始浓度对甲醛光催化氧化反应的影响第92-93页
     ·湿度对甲醛光催化氧化反应的影响第93-96页
   ·本章小结第96-98页
6 结论与展望第98-101页
   ·结论第98-100页
   ·展望第100-101页
参考文献第101-111页
攻读博士学位期间发表学术论文情况第111-112页
创新点摘要第112-113页
致谢第113-115页
作者简介第115页

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