| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-13页 |
| ·课题概述 | 第8页 |
| ·国内外研究现状 | 第8-12页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第12-13页 |
| 2 二维工作台结构设计 | 第13-25页 |
| ·技术指标 | 第13页 |
| ·二维工作台总体方案设计 | 第13-14页 |
| ·工作台机械结构设计 | 第14-16页 |
| ·关键零部件选型 | 第16-20页 |
| ·机械零部件设计 | 第20-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 3 驱动控制系统设计 | 第25-33页 |
| ·驱动控制系统方案 | 第25页 |
| ·驱动电机选型 | 第25-26页 |
| ·计量光栅选型 | 第26-27页 |
| ·运动控制卡选型 | 第27-29页 |
| ·控制软件设计 | 第29-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 4 工作台样机建构、测试及精度分析 | 第33-56页 |
| ·工作台样机组装调试 | 第33-35页 |
| ·工作台样机精度测试 | 第35-45页 |
| ·精度分析 | 第45-48页 |
| ·误差补偿 | 第48-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 5 总结与展望 | 第56-58页 |
| ·全文总结 | 第56页 |
| ·研究展望 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 附录 攻读学位期间取得的研究成果 | 第62页 |
| 发表学术论文 | 第62页 |