| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 1 绪论 | 第7-19页 |
| ·引言 | 第7-8页 |
| ·FBAR 谐振单元及滤波器工作原理 | 第8-12页 |
| ·FBAR 技术的研究现状 | 第12-16页 |
| ·课题的研究意义和内容 | 第16-19页 |
| 2 FBAR 滤波器的仿真性研究 | 第19-38页 |
| ·FBAR 谐振单元的阻抗特性 | 第19-24页 |
| ·Au-AIN-Mo 结构 FBAR 谐振单元的 Mason 电路模型 | 第24-25页 |
| ·FBAR 滤波器的仿真性研究 | 第25-38页 |
| 3 FBAR 用 AlN 压电薄膜的研制 | 第38-64页 |
| ·C 轴高取向 AlN 电薄膜研制工艺 | 第38-49页 |
| ·功率和退火对 AlN 薄膜表面粗糙度的影响 | 第49-54页 |
| ·氮气和氩气比对 AlN 薄膜化学计量比的影响 | 第54-60页 |
| ·功率和靶-基间距对 AlN 薄膜结晶和沉积速率的影响 | 第60-64页 |
| 4 总结及展望 | 第64-66页 |
| ·总结 | 第64-65页 |
| ·展望 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-72页 |
| 附录 | 第72页 |