| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-18页 |
| ·引言 | 第8-10页 |
| ·BST 铁电薄膜的研究概况 | 第10-14页 |
| ·BST 铁电梯度薄膜 | 第14-16页 |
| ·课题的研究意义和内容 | 第16-18页 |
| 2 BST 铁电薄膜的性能研究 | 第18-45页 |
| ·BST 铁电陶瓷靶材的制备及加工 | 第18-22页 |
| ·BST 铁电薄膜的溅射工艺研究 | 第22-33页 |
| ·BST 铁电薄膜的生长与结晶状况研究 | 第33-40页 |
| ·BST 铁电薄膜的元素成分及化学价态研究 | 第40-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 3 BST 组分梯度铁电薄膜的性能研究 | 第45-60页 |
| ·组分梯度薄膜的制备 | 第45-48页 |
| ·组分梯度薄膜的性能研究 | 第48-51页 |
| ·不同缓冲层的研究 | 第51-53页 |
| ·组分梯度薄膜表面粗糙度的研究 | 第53-55页 |
| ·组分梯度结构的验证 | 第55-58页 |
| ·创新点 | 第58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 4 总结与展望 | 第60-62页 |
| ·总结 | 第60页 |
| ·展望 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-69页 |
| 附录Ⅰ 攻读硕士期间发表的论文 | 第69-70页 |
| 附录Ⅱ 攻读硕士期间完成的课题 | 第70页 |