| 摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-22页 |
| ·引言 | 第13-14页 |
| ·Ta-Mo 高温涂层的制备方法 | 第14-16页 |
| ·磁控溅射方法和原理 | 第14-15页 |
| ·Ta-Mo 系列涂层的磁控溅射制备方法 | 第15-16页 |
| ·Ta-Mo 高温涂层的微观组织研究 | 第16-17页 |
| ·Ta-Mo 高温涂层的性能及其应用研究 | 第17-20页 |
| ·Ta-Mo 高温涂层的显微硬度的研究 | 第17-18页 |
| ·Ta-Mo 高温涂层的结合力的研究 | 第18页 |
| ·Ta-Mo 高温涂层的高温抗氧化的研究 | 第18页 |
| ·Ta-Mo 高温涂层的耐腐蚀性能的研究 | 第18-19页 |
| ·Ta-Mo 高温涂层的应用的研究 | 第19-20页 |
| ·本课题的研究内容、创新点、研究重点、研究难点 | 第20-22页 |
| ·研究内容 | 第20页 |
| ·研究的创新点 | 第20-21页 |
| ·研究的难点 | 第21页 |
| ·研究的重点 | 第21-22页 |
| 第二章 实验原理与步骤 | 第22-27页 |
| ·实验研究路线 | 第22页 |
| ·实验仪器 | 第22-23页 |
| ·实验材料 | 第23页 |
| ·Ta-Mo 高温涂层的制备方法及其步骤 | 第23页 |
| ·Ta-Mo 高温涂层的分析检测方法 | 第23-27页 |
| ·Ta-Mo 高温涂层的组织分析 | 第24页 |
| ·Ta-Mo 高温涂层的形貌分析 | 第24-25页 |
| ·Ta-Mo 高温涂层的力学性能分析 | 第25-26页 |
| ·Ta-Mo 高温涂层的高温抗氧化和耐蚀性能分析 | 第26-27页 |
| 第三章 钽钼高温涂层形核和生长的机理研究 | 第27-46页 |
| ·溅射时间对 Ta-Mo 高温涂层形核和生长的影响 | 第27-32页 |
| ·不同溅射时间的涂层生长的组织 XRD 分析 | 第27-28页 |
| ·不同溅射时间的涂层生长的横截面厚度 SEM 分析 | 第28-29页 |
| ·不同溅射时间的涂层生长的表面形貌 AFM 分析 | 第29-30页 |
| ·不同溅射时间的涂层生长的二维表面轮廓演化 | 第30-32页 |
| ·溅射气压对 Ta-Mo 高温涂层形核和生长的影响 | 第32-39页 |
| ·不同溅射气压下涂层生长的表面形貌 AFM 分析 | 第32-37页 |
| ·不同溅射气压下涂层生长的组织 XRD 分析 | 第37-38页 |
| ·不同溅射气压下涂层生长的模型建立 | 第38-39页 |
| ·基底温度对 Ta-Mo 高温涂层形核和生长的影响 | 第39-44页 |
| ·不同基底温度下涂层生长的组织 XRD 分析 | 第39-40页 |
| ·不同基底温度下涂层生长的表面形貌 AFM 分析 | 第40-44页 |
| ·本章小结 | 第44-46页 |
| 第四章 钽钼高温涂层组织和形貌的研究 | 第46-60页 |
| ·不同基底材料对 Ta-Mo 高温涂层组织和形貌的影响 | 第46-51页 |
| ·不同基底材料 Ta-Mo 涂层的组织 XRD 分析 | 第46-47页 |
| ·不同基底材料 Ta-Mo 涂层的组织 TEM 分析 | 第47-48页 |
| ·不同基底材料 Ta-Mo 涂层的厚度与颗粒大小分析 | 第48-51页 |
| ·第三组元对 Ta-Mo 高温涂层组织和形貌的影响 | 第51-54页 |
| ·第三组元下 Ta-Mo 高温涂层的组织 XRD 分析 | 第51-52页 |
| ·第三组元下 Ta-Mo 高温涂层表面形貌的 AFM 分析 | 第52-54页 |
| ·溅射功率对 Ta-Mo 高温涂层组织和形貌的影响 | 第54-58页 |
| ·不同溅射功率 Ta-Mo 高温涂层的组织 XRD 分析 | 第54-55页 |
| ·不同溅射功率 Ta-Mo 高温涂层的成分 EDS 分析 | 第55-56页 |
| ·不同溅射功率 Ta-Mo 高温涂层的沉积速率的分析 | 第56-57页 |
| ·不同溅射功率 Ta-Mo 高温涂层的表面形貌 AFM 分析 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 第五章 钽钼高温涂层性能的研究 | 第60-76页 |
| ·基底材料对 Ta-Mo 高温涂层性能的影响 | 第60-63页 |
| ·基底材料对 Ta-Mo 涂层的耐蚀性能的影响 | 第60-61页 |
| ·基底材料对 Ta-Mo 涂层的力学性能的影响 | 第61-63页 |
| ·第三组元对 Ta-Mo 高温涂层性能的影响 | 第63-67页 |
| ·第三组元对 Ta-Mo 涂层的耐腐蚀性能的影响 | 第63-64页 |
| ·第三组元对 Ta-Mo 涂层的耐高温性能的影响 | 第64-65页 |
| ·第三组元对 Ta-Mo 涂层的力学性能的影响 | 第65-67页 |
| ·溅射功率对 Ta-Mo 高温涂层性能的影响 | 第67-71页 |
| ·溅射功率对 Ta-Mo 高温涂层耐腐蚀性能和耐高温性能的影响 | 第67-68页 |
| ·溅射功率对 Ta-Mo 高温涂层力学性能的影响 | 第68-71页 |
| ·基底温度对 Ta-Mo 高温涂层性能的影响 | 第71-75页 |
| ·基底温度对 Ta-Mo 高温涂层耐腐蚀性能的影响 | 第71-72页 |
| ·基底温度对 Ta-Mo 高温涂层耐高温性能的影响 | 第72-73页 |
| ·基底温度对 Ta-Mo 高温涂层力学性能的影响 | 第73-75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 第六章 总结 | 第76-78页 |
| 参考文献 | 第78-85页 |
| 附录 | 第85-88页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及取得的相关科研成果 | 第88-89页 |
| 致谢 | 第89-90页 |
