扫描检测设备的光学系统设计和精度分析
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| ·课题背景 | 第8页 |
| ·国内外研究现状分析 | 第8-14页 |
| ·扫描性能检测概况 | 第8-10页 |
| ·二元光学的应用发展概况 | 第10-12页 |
| ·校正镜头畸变的方法 | 第12-13页 |
| ·扫描检测设备相关部分发展现状 | 第13-14页 |
| ·主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 折-衍混合光学系统设计 | 第16-31页 |
| ·衍射光学元件设计基本理论 | 第16-22页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·衍射光学的标量衍射理论 | 第16-17页 |
| ·衍射光学元件的特性 | 第17-19页 |
| ·衍射光学元件设计原理及算法分析 | 第19-22页 |
| ·扫描检测设备光学系统的设计 | 第22-30页 |
| ·光学系统结构模式的选取 | 第22-23页 |
| ·原始结构优化设计 | 第23-25页 |
| ·折-衍射混合光学系统设计 | 第25-29页 |
| ·传统系统和折-衍系统的设计比较 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 镜头的测试和提高精度的方法研究 | 第31-44页 |
| ·引言 | 第31页 |
| ·镜头方案论证 | 第31-33页 |
| ·镜头透过率的测试 | 第33-37页 |
| ·镜头畸变校正 | 第37-43页 |
| ·畸变原理 | 第37-38页 |
| ·畸变校正理论 | 第38-40页 |
| ·畸变校正实验 | 第40-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 激光扫描检测设备测量方法的研究 | 第44-51页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·测量中的光轴偏角的问题 | 第44-46页 |
| ·使用定焦和变焦系统测量方法研究 | 第46-50页 |
| ·使用定焦光学系统的测量方法 | 第46-48页 |
| ·使用变焦光学系统的测量方法 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第5章 激光扫描检测设备的精度分析 | 第51-57页 |
| ·引言 | 第51页 |
| ·激光扫描检测设备的测量方程 | 第51-52页 |
| ·激光扫描检测设备的精度分析 | 第52-56页 |
| ·焦距对总体精度的影响 | 第53-54页 |
| ·像高对总体精度的影响 | 第54-55页 |
| ·扫描角的总体精度 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 结论 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64页 |
