摘要 | 第1-5页 |
ABSTRACT | 第5-6页 |
目录 | 第6-7页 |
第一章 绪论 | 第7-13页 |
·光学薄膜的发展与应用 | 第7-8页 |
·光学薄膜制备技术 | 第8-10页 |
·研究背景简介 | 第10-11页 |
·本文主要工作 | 第11-13页 |
第二章 薄膜的基本理论 | 第13-22页 |
·薄膜的干涉原理 | 第13-16页 |
·薄膜反射率的计算 | 第16-18页 |
·增透膜 | 第18-19页 |
·对称膜系的等效折射率 | 第19-20页 |
·高反射膜 | 第20-21页 |
·展宽高反射带的多层介质膜 | 第21-22页 |
第三章 红外三波段滤光膜膜系设计 | 第22-33页 |
·基底材料的选择 | 第22-23页 |
·薄膜材料的选择 | 第23-26页 |
·膜系设计 | 第26-33页 |
第四章 红外三波段滤光膜的镀制 | 第33-41页 |
·真空镀膜设备简介 | 第33-39页 |
·工艺过程 | 第39-41页 |
第五章 测试结果与误差分析 | 第41-44页 |
·测试结果与分析 | 第41-43页 |
·薄膜性能测试 | 第43-44页 |
结论 | 第44-45页 |
致谢 | 第45-46页 |
参考文献 | 第46页 |