| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-22页 |
| ·课题背景及研究意义 | 第10-11页 |
| ·国内外单轴拉伸测试研究现状 | 第11-20页 |
| ·驱动方式 | 第11-13页 |
| ·载荷测量 | 第13-14页 |
| ·位移测量 | 第14-16页 |
| ·机械框架 | 第16-17页 |
| ·试样相关部分 | 第17-20页 |
| ·商品化装置 | 第20页 |
| ·国内外综述小结 | 第20页 |
| ·论文的主要工作和内容结构 | 第20-22页 |
| 2 微构件力学性能拉伸测试系统设计 | 第22-43页 |
| ·测试系统总体功能 | 第22页 |
| ·测试系统的工作原理 | 第22-23页 |
| ·测试系统硬件设计 | 第23-27页 |
| ·测试系统软件设计 | 第27-43页 |
| ·系统软件开发平台简介 | 第27-28页 |
| ·数据采集概述 | 第28-33页 |
| ·软件开发流程及总体结构 | 第33-36页 |
| ·数据采集程序设计 | 第36-37页 |
| ·图像采集程序设计 | 第37-41页 |
| ·微构件图像应用系统程序设计 | 第41-43页 |
| 3 压电陶瓷闭环PID控制及测试系统整体刚度标定研究 | 第43-53页 |
| ·压电陶瓷闭环PID控制实验研究 | 第43-48页 |
| ·压电陶瓷闭环PID控制实验装置 | 第43页 |
| ·PID控制原理及参数整定方法 | 第43-45页 |
| ·PID控制系统的编程实现 | 第45-46页 |
| ·实验结果及特性分析 | 第46-48页 |
| ·测试系统整体刚度标定实验研究 | 第48-53页 |
| ·图像法估测微力传感器的输出位移实验 | 第49-50页 |
| ·测试装置整体标定实验 | 第50-53页 |
| 4 单晶硅试样拉伸实验 | 第53-63页 |
| ·微拉伸实验关键技术及难点 | 第53-54页 |
| ·单晶硅试样拉伸实验 | 第54-63页 |
| ·单晶硅力、位移传感器数据的测量 | 第58-60页 |
| ·单晶硅弹性模量计算 | 第60-61页 |
| ·实验误差分析 | 第61-62页 |
| ·测试系统的改进与展望 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |