二维零位光栅原理及其实验系统研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-26页 |
| ·计量光栅的研究概况 | 第11-17页 |
| ·计量光栅的发展历史 | 第11-14页 |
| ·计量光栅的研究现状 | 第14-15页 |
| ·传统计量光栅的特点与不足 | 第15-17页 |
| ·零位光栅的研究概况 | 第17-24页 |
| ·一维零位光栅及其研究概况 | 第17-22页 |
| ·二维零位光栅及其研究概况 | 第22-24页 |
| ·论文的工作及内容安排 | 第24-26页 |
| 第二章 二维零位光栅的编码设计 | 第26-49页 |
| ·二维零位光栅的编码设计模型 | 第26-34页 |
| ·二维零位光栅编码设计的数理原型 | 第26-28页 |
| ·二维零位光栅编码设计的主要参数及其影响 | 第28-30页 |
| ·输出光强次大值σ下限的推导 | 第30-34页 |
| ·二维零位光栅编码的设计方法 | 第34-38页 |
| ·二维零位光栅编码设计的一般步骤 | 第34-35页 |
| ·以最优解为目标的编码设计方法 | 第35-36页 |
| ·以满足要求的可用解为目标的编码设计方法 | 第36页 |
| ·兼顾性能指标与计算量的二维零位光栅编码分解法 | 第36-38页 |
| ·二维零位光栅编码设计例 | 第38-48页 |
| ·枚举法设计的 16X16 的二维零位光栅编码 | 第39-40页 |
| ·枚举法设计的 64X64 的二维零位光栅编码 | 第40-42页 |
| ·分解法设计的 21X21 的二维零位光栅编码 | 第42-44页 |
| ·分解法设计的 13X13 的二维零位光栅编码 | 第44-46页 |
| ·分解法设计的 7X7 的二维零位光栅编码 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第三章 二维零位光栅的衍射理论研究 | 第49-69页 |
| ·基于标量衍射理论的二维零位光栅编码验证 | 第49-57页 |
| ·应用标量衍对理论的二维零位光栅系统的数理模型 | 第49-53页 |
| ·二维零位光栅编码衍射理论验证 | 第53-57页 |
| ·基于衍射理论的二维零位光栅性能研究 | 第57-66页 |
| ·光源性能指标对输出特性的影响 | 第57-58页 |
| ·光栅面间距对输出特性的影响 | 第58-60页 |
| ·光栅面内转角误差对输出特性的影响 | 第60-62页 |
| ·光栅制造误差对输出特性的影响 | 第62-65页 |
| ·小结 | 第65-66页 |
| ·二维零位光栅衍射理论讨论 | 第66-69页 |
| ·菲涅耳近似和夫琅和费近似条件的保证 | 第66-67页 |
| ·二维零位光栅的严格矢量衍射理论 | 第67-69页 |
| 第四章 二维零位光栅的实验研究 | 第69-89页 |
| ·二维零位光栅实验装置 | 第69-77页 |
| ·光路系统 | 第70-72页 |
| ·电路设计 | 第72-75页 |
| ·系统软件设计 | 第75-77页 |
| ·二维零位光栅性能实验结果及分析 | 第77-80页 |
| ·二维零位光栅重复定位实验及结果 | 第80-83页 |
| ·实验系统性能评价及电路噪声分析 | 第83-88页 |
| ·实验系统性能评价 | 第83-85页 |
| ·光电转换电路噪声分析 | 第85-88页 |
| ·本章小结 | 第88-89页 |
| 第五章 二维零位光栅的应用展望 | 第89-101页 |
| ·二维零位光栅在二维绝对位移测量中的应用 | 第89-92页 |
| ·二维零位光栅在光刻对准中的应用 | 第92-95页 |
| ·二维零位光栅在 SPM 仪器漂移补偿中的应用 | 第95-98页 |
| ·二维零位光栅的三维拓展 | 第98-99页 |
| ·本章小结 | 第99-101页 |
| 第六章 总结与展望 | 第101-104页 |
| ·工作总结 | 第101-102页 |
| ·研究工作的创新之处 | 第102-103页 |
| ·展望 | 第103-104页 |
| 参考文献 | 第104-114页 |
| 致谢 | 第114-115页 |
| 攻读博士学位论文期间发表的论文 | 第115页 |
