电磁波在非均匀大气等离子体中的传播低气压电容耦合等离子体的实验研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一部分 微波在非均匀大气等离子体中的传播 | 第10-47页 |
| 1 前言 | 第10-18页 |
| ·研究背景以及意义 | 第10-14页 |
| ·电磁场传播方程的数值解法 | 第14-17页 |
| ·本部分的内容 | 第17-18页 |
| 2 物理模型及算法实现 | 第18-25页 |
| ·物理模型 | 第18-19页 |
| ·算法介绍 | 第19-24页 |
| ·小结 | 第24-25页 |
| 3 结果分析 | 第25-47页 |
| ·空间的电场分布 | 第25-27页 |
| ·电磁波性质与等离子体参数的关系 | 第27-37页 |
| ·WKB 近似与数值解的比较 | 第37-41页 |
| ·大气等离子体的微波诊断 | 第41-45页 |
| ·小结 | 第45-47页 |
| 第二部分 低气压电容耦合等离子体实验研究 | 第47-121页 |
| 4 低气压电容耦合等离子体介绍 | 第47-68页 |
| ·等离子体刻蚀 | 第47-51页 |
| ·电容耦合等离子体源 | 第51-53页 |
| ·电容耦合等离子体的放电原理 | 第53-61页 |
| ·等离子体鞘层的物理特性 | 第61-67页 |
| ·小结 | 第67-68页 |
| 5 AR/O_2 的整体模型 | 第68-83页 |
| ·AR/O_2 放电模型 | 第68-74页 |
| ·结果分析 | 第74-82页 |
| ·小结 | 第82-83页 |
| 6 电容耦合等离子体实验 | 第83-99页 |
| ·实验装置的介绍 | 第83-86页 |
| ·不同频率的功率匹配 | 第86-92页 |
| ·电极的非对称设计对放电的影响 | 第92-98页 |
| ·小结 | 第98-99页 |
| 7 离子能量分布测量 | 第99-121页 |
| ·离子能量分布测量的介绍 | 第99-100页 |
| ·对离子行为的简单分析 | 第100-102页 |
| ·固定极板电压 | 第102-110页 |
| ·固定输入功率 | 第110-113页 |
| ·等效电子碰撞能量损失 | 第113-119页 |
| ·小结 | 第119-121页 |
| 总结与展望 | 第121-124页 |
| 致谢 | 第124-125页 |
| 参考文献 | 第125-132页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第132页 |
