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数字灰度光刻成像物镜设计

摘要第1-5页
英文摘要第5-9页
第一章 引言第9-20页
 §1.1 光刻技术第9-13页
     ·投影式光刻第11-12页
     ·无掩模光刻第12-13页
     ·数字灰度光刻技术第13页
 §1.2 光学镜头设计第13-18页
     ·镜头设计的发展第13-15页
     ·光刻镜头的设计和制造第15-17页
     ·数字灰度光刻对物镜的要求第17-18页
 §1.3 本论文的目的、意义和主要内容第18-20页
第二章 光刻物镜参数选择及像差分配第20-34页
 §2.1 引言第20页
 §2.2 光刻物镜的结构及参数第20-26页
     ·数字微反射镜装置(DMD)第20-22页
     ·数字灰度光刻物镜结构和参数的确定第22-26页
 §2.3 像差校正要求及像差容限第26-33页
     ·光刻物镜像差校正要求第26-29页
     ·光刻物镜的像差容限第29-33页
 §2.4 小结第33-34页
第三章 10X缩小双远心成像物镜的设计第34-61页
 §3.1 引言第34页
 §3.2 光刻物镜前组G_1的设计第34-45页
     ·前组G_1的结构选择第35-37页
     ·前组G_1的优化第37-45页
     ·前组设计G_1结果第45页
 §3.3 后组G_2的设计第45-53页
     ·后组G_2结构的选择第45-46页
     ·后组G_2的设计优化第46-53页
 §3.4 光刻物镜整体优化第53-57页
 §3.5 设计结果公差计算第57-60页
 §3.6 小结第60-61页
第四章 数字灰度光刻成像实验及分析第61-72页
 §4.1 引言第61页
 §4.2 数字灰度光刻实验研究第61-70页
     ·实验光学系统第61-63页
     ·记录材料及处理工艺第63-65页
     ·激光散斑对像质的影响第65-68页
     ·数值孔径对像质的影响第68-70页
 §4.3 实验结果分析第70-71页
 §4.4 小结第71-72页
第五章 总结第72-73页
参考文献第73-77页
附录1 物镜参数第77-78页
附录2 公差分析第78-83页
附录3 攻硕期间发表的文章第83-84页
附录4 参加科研项目第84-86页
致谢第86页

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