数字灰度光刻成像物镜设计
摘要 | 第1-5页 |
英文摘要 | 第5-9页 |
第一章 引言 | 第9-20页 |
§1.1 光刻技术 | 第9-13页 |
·投影式光刻 | 第11-12页 |
·无掩模光刻 | 第12-13页 |
·数字灰度光刻技术 | 第13页 |
§1.2 光学镜头设计 | 第13-18页 |
·镜头设计的发展 | 第13-15页 |
·光刻镜头的设计和制造 | 第15-17页 |
·数字灰度光刻对物镜的要求 | 第17-18页 |
§1.3 本论文的目的、意义和主要内容 | 第18-20页 |
第二章 光刻物镜参数选择及像差分配 | 第20-34页 |
§2.1 引言 | 第20页 |
§2.2 光刻物镜的结构及参数 | 第20-26页 |
·数字微反射镜装置(DMD) | 第20-22页 |
·数字灰度光刻物镜结构和参数的确定 | 第22-26页 |
§2.3 像差校正要求及像差容限 | 第26-33页 |
·光刻物镜像差校正要求 | 第26-29页 |
·光刻物镜的像差容限 | 第29-33页 |
§2.4 小结 | 第33-34页 |
第三章 10X缩小双远心成像物镜的设计 | 第34-61页 |
§3.1 引言 | 第34页 |
§3.2 光刻物镜前组G_1的设计 | 第34-45页 |
·前组G_1的结构选择 | 第35-37页 |
·前组G_1的优化 | 第37-45页 |
·前组设计G_1结果 | 第45页 |
§3.3 后组G_2的设计 | 第45-53页 |
·后组G_2结构的选择 | 第45-46页 |
·后组G_2的设计优化 | 第46-53页 |
§3.4 光刻物镜整体优化 | 第53-57页 |
§3.5 设计结果公差计算 | 第57-60页 |
§3.6 小结 | 第60-61页 |
第四章 数字灰度光刻成像实验及分析 | 第61-72页 |
§4.1 引言 | 第61页 |
§4.2 数字灰度光刻实验研究 | 第61-70页 |
·实验光学系统 | 第61-63页 |
·记录材料及处理工艺 | 第63-65页 |
·激光散斑对像质的影响 | 第65-68页 |
·数值孔径对像质的影响 | 第68-70页 |
§4.3 实验结果分析 | 第70-71页 |
§4.4 小结 | 第71-72页 |
第五章 总结 | 第72-73页 |
参考文献 | 第73-77页 |
附录1 物镜参数 | 第77-78页 |
附录2 公差分析 | 第78-83页 |
附录3 攻硕期间发表的文章 | 第83-84页 |
附录4 参加科研项目 | 第84-86页 |
致谢 | 第86页 |