| 中文摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-30页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·课题的研究背景及意义 | 第10-13页 |
| ·光学元件质量与检测技术 | 第10-11页 |
| ·光栅单色器现状及发展方向 | 第11-12页 |
| ·衍射光栅测试技术 | 第12-13页 |
| ·作者的工作和内容安排 | 第13-15页 |
| ·论文的主要工作任务 | 第13-14页 |
| ·各章节内容安排 | 第14-15页 |
| ·衍射光栅的像差理论 | 第15-23页 |
| ·衍射光栅的发展简史 | 第15-16页 |
| ·衍射光栅像差理论概述 | 第16-18页 |
| ·光程函数理论 | 第18-23页 |
| ·面形函数的展开 | 第19-20页 |
| ·几何光程的展开 | 第20-21页 |
| ·刻线密度的展开 | 第21-22页 |
| ·等间距光栅的像差系数表达式 | 第22-23页 |
| ·本章小节 | 第23页 |
| 参考文献 | 第23-30页 |
| 第二章 变曲率光栅的理论研究 | 第30-51页 |
| ·引言 | 第30-31页 |
| ·光栅线密度一般表达方法 | 第31-34页 |
| ·光栅周期的常用描述方法 | 第31-32页 |
| ·广义光栅线密度表达 | 第32-34页 |
| ·光栅压弯面形与其线密度间的数学关系 | 第34-36页 |
| ·变曲率光栅的成像特性 | 第36-40页 |
| ·变曲率光栅线密度的理论计算 | 第36-37页 |
| ·变曲率光栅成像系统中的各项像差 | 第37-38页 |
| ·变曲率光栅成像的一个例子 | 第38-40页 |
| ·消像差压弯光栅理论 | 第40-46页 |
| ·一般面形压弯光栅的成像性能 | 第41-43页 |
| ·线密度变化引起的残余彗差 | 第43-44页 |
| ·消除高阶像差一个数值设计 | 第44-46页 |
| ·本章小节 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-51页 |
| 第三章 变曲率光栅的实验研究 | 第51-69页 |
| ·引言 | 第51-52页 |
| ·压弯光栅的参数设计 | 第52-53页 |
| ·测试系统 | 第53-56页 |
| ·面形测试方法 | 第53页 |
| ·衍射法光栅线密度测试系统 | 第53-56页 |
| ·压弯机构 | 第56-59页 |
| ·实验测试结果 | 第59-62页 |
| ·线密度变化的有限元分析 | 第62-66页 |
| ·本章小节 | 第66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 第四章 长程面形仪及其在光栅刻线密度测试中的应用研究 | 第69-128页 |
| ·引言 | 第69-70页 |
| ·非球面轮廓测量方法介绍 | 第70-72页 |
| ·长程面形仪概述 | 第72-80页 |
| ·长程面形仪发展的几个阶段 | 第73-76页 |
| ·长程面形仪中的误差分析及关键技术 | 第76-78页 |
| ·长程面形仪的种类与分布 | 第78-79页 |
| ·长程面形仪的用途推广和展望 | 第79-80页 |
| ·NSRL长程面形仪系统 | 第80-95页 |
| ·新型长程面形仪系统设计 | 第81-88页 |
| ·光学系统 | 第81-85页 |
| ·探测器的选择 | 第82-83页 |
| ·傅立叶透镜与角度测量范围 | 第83页 |
| ·光学系统总体结构 | 第83-85页 |
| ·运动及支撑系统 | 第85-87页 |
| ·实验平台 | 第85页 |
| ·运动导轨系统 | 第85-87页 |
| ·软件控制系统 | 第87-88页 |
| ·总体结构 | 第88页 |
| ·仪器的标定与性能评价 | 第88-94页 |
| ·标定 | 第88-91页 |
| ·重复性测试 | 第91-92页 |
| ·稳定性测试 | 第92-94页 |
| ·模拟样品测试 | 第94-95页 |
| ·长程面形仪光栅线密度测试系统 | 第95-120页 |
| ·光栅线密度常用测试方法 | 第96-105页 |
| ·原子力显微镜法 | 第96-97页 |
| ·早期的干涉测量法 | 第97-99页 |
| ·Moire条纹测试方法 | 第99-101页 |
| ·衍射方法 | 第101-103页 |
| ·LTP测试法 | 第103-105页 |
| ·NSRL长程面形仪光栅线密度测试系统的组成 | 第105-108页 |
| ·关于测试系统的一些说明 | 第108-109页 |
| ·线密度测试系统的一般表达式 | 第109-110页 |
| ·线密度测试系统的精度分析 | 第110-115页 |
| ·角度误差分析 | 第111-112页 |
| ·离轴误差分析与减小误差的方法 | 第112-115页 |
| ·系统最终测试精度 | 第115页 |
| ·长程面形仪单次扫描所能测试的线密度变化 | 第115-116页 |
| ·一些测试结果 | 第116-120页 |
| ·平面等间距光栅的测试 | 第117页 |
| ·平面变间距光栅的测试 | 第117-119页 |
| ·凹面光栅的测试 | 第119-120页 |
| ·本章小节 | 第120-121页 |
| 参考文献 | 第121-128页 |
| 第五章 论文的工作总结与展望 | 第128-130页 |
| ·论文完成的创新性工作 | 第128-129页 |
| ·论文下一步工作的展望 | 第129-130页 |
| 致谢 | 第130-132页 |
| 攻读博士期间发表的论文 | 第132页 |