| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| ·集成光波导器件概述 | 第8-9页 |
| ·聚合物光波导器件的最新进展 | 第9-11页 |
| ·传统的聚合物光波导的制作工艺与现阶段微细笔写工艺的比较 | 第11-14页 |
| ·课题来源、意义及主要内容 | 第14-15页 |
| ·小结 | 第15-16页 |
| 2 聚合物材料合成原理及工艺 | 第16-24页 |
| ·氟化聚酰亚胺材料的优势 | 第16-18页 |
| ·氟化聚酰亚胺的合成原理 | 第18-21页 |
| ·氟化聚酰亚胺材料的合成工艺 | 第21-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 3 氟化聚酰亚胺材料的性能测试分析 | 第24-31页 |
| ·分子量的测试 | 第24页 |
| ·材料结构的红外表征 | 第24-25页 |
| ·材料热性能的测试 | 第25-26页 |
| ·含氟量与折射率以及吸收损耗大小的关系 | 第26-28页 |
| ·热光系数测量 | 第28-30页 |
| ·本章小节 | 第30-31页 |
| 4 聚合物溶液的流变理论及配置工艺 | 第31-38页 |
| ·聚合物材料流体力学的简单的理论研究及分析 | 第31-34页 |
| ·影响聚合物溶液粘度的因素 | 第34-36页 |
| ·聚合物溶液的配置工艺 | 第36-37页 |
| ·本章小节 | 第37-38页 |
| 5 微细笔写装置以及笔写工艺 | 第38-47页 |
| ·直写装置的结构及其工作原理 | 第38-39页 |
| ·直写条形波导的工艺 | 第39-41页 |
| ·波导层的形貌控制 | 第41-44页 |
| ·热处理工艺 | 第44-46页 |
| ·本章小节 | 第46-47页 |
| 6 波导测试原理、方法及结果分析 | 第47-53页 |
| ·条形光波导的测试原理及步骤 | 第47页 |
| ·测试用仪表设备及测试系统 | 第47-48页 |
| ·测试结果及分析 | 第48-52页 |
| ·本章小节 | 第52-53页 |
| 7 全文总结及展望 | 第53-55页 |
| ·主要结论 | 第53页 |
| ·未来展望及下一步工作建议 | 第53-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表论文目录 | 第60页 |