| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-18页 |
| ·低温等离子体技术应用简介 | 第10页 |
| ·薄膜科学的发展概况和重要意义 | 第10-13页 |
| ·本论文工作的研究背景和研究重点 | 第13-18页 |
| 2 计算机模拟方法与原子间相互作用势 | 第18-31页 |
| ·计算机模拟的现实意义与发展概况 | 第18-20页 |
| ·分子动力学原理 | 第20-23页 |
| ·分子动力学基本方程 | 第20-21页 |
| ·分子动力学算法 | 第21-23页 |
| ·等温系综的分子动力学方法 | 第23页 |
| ·计算机模拟中的原子间相互作用势 | 第23-31页 |
| ·基于有效介质方法的原子间相互作用势简介 | 第23-24页 |
| ·有效介质理论(EMT)和嵌入原子方法(EAM) | 第24页 |
| ·EAM原子间相互作用势 | 第24-28页 |
| ·金属表面能与表面应力的计算 | 第28-31页 |
| 3 低能原子与表面的相互作用 | 第31-64页 |
| ·模型近似方法 | 第32-33页 |
| ·低能原子与纯净Pt(111)表面的相互作用 | 第33-45页 |
| ·物理模型 | 第33-34页 |
| ·低能表面溅射 | 第34-40页 |
| ·表面吸附原子产额与分布 | 第40-44页 |
| ·空位缺陷产额 | 第44-45页 |
| ·替位杂质对低能原子与Pt(111)表面相互作用的影响 | 第45-62页 |
| ·替位杂质对贵金属(111)表面稳定性的影响 | 第46-52页 |
| ·替位杂质对Pt(111)表面低能沉积过程的影响 | 第52-62页 |
| ·本章小结 | 第62-64页 |
| 4 表面吸附原子扩散行为研究 | 第64-79页 |
| ·相关参量的计算方法 | 第64-65页 |
| ·表面势垒的计算方法 | 第64-65页 |
| ·表面局域压力的计算方法 | 第65页 |
| ·Cu吸附原子与Cu表面晶格的相互作用及其对扩散的影响 | 第65-72页 |
| ·计算模型 | 第66页 |
| ·表面吸附原子所导致的晶格畸变 | 第66-69页 |
| ·表面吸附原子与表面晶格的相互作用对扩散的影响 | 第69-72页 |
| ·表面Cu原子间相互作用对Cu(001)表面跳跃扩散行为的影响 | 第72-78页 |
| ·计算模型 | 第73-74页 |
| ·吸附原子沿低局域应力沟道的扩散 | 第74-75页 |
| ·非应力沟道位置的吸附原子扩散行为 | 第75-78页 |
| ·本章小结 | 第78-79页 |
| 5 异质外延生长行为研究 | 第79-107页 |
| ·相关物理参数的计算方法 | 第80-81页 |
| ·外延岛与基体的膜基结合能 | 第80页 |
| ·基体的形变能 | 第80页 |
| ·原子的局域压力 | 第80-81页 |
| ·Au/Cu(001)与Ag/Cu(001)体系异质外延生长中的应变释放与结构演化 | 第81-84页 |
| ·计算模型 | 第81页 |
| ·异质外延岛的形貌演化 | 第81-83页 |
| ·外延岛与基体的结合强度 | 第83-84页 |
| ·Cu-Au体系非对称异质外延行为研究 | 第84-92页 |
| ·模型与方法 | 第85页 |
| ·外延岛形貌和应变分布的非对称演化行为 | 第85-89页 |
| ·微观失配对外延岛与基体的结合能及基体形变能的影响 | 第89-92页 |
| ·Al/Fe(001)准同构体系异质外延生长研究 | 第92-100页 |
| ·计算模型 | 第93页 |
| ·外延岛与基体表层的形貌演化 | 第93-95页 |
| ·外延岛与基体的结合及成键特征 | 第95-97页 |
| ·外延岛对基体形变及应力分布的影响 | 第97-100页 |
| ·Ti/Fe(001)非同构体系异质外延生长研究 | 第100-105页 |
| ·外延岛与基体表层的形貌演化 | 第100-102页 |
| ·外延岛的平均键长与微观失配状态 | 第102-104页 |
| ·外延岛和基体的应变状态 | 第104-105页 |
| ·本章小结 | 第105-107页 |
| 结论 | 第107-109页 |
| 参考文献 | 第109-117页 |
| 攻读博士学位期间发表学术论文情况 | 第117-119页 |
| 创新点摘要 | 第119-120页 |
| 致谢 | 第120-121页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第121页 |
