| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-20页 |
| ·铁电材料的研究发展 | 第8-11页 |
| ·PZT 材料结构特征 | 第11-13页 |
| ·PZT 材料研究及应用 | 第13-14页 |
| ·PZT 铁电薄膜制备技术 | 第14-17页 |
| ·PZT 铁电薄膜的掺杂改性研究 | 第17-18页 |
| ·PZT 铁电薄膜的性能研究 | 第18-19页 |
| ·本论文研究的主要内容 | 第19-20页 |
| 2 PZT 铁电薄膜SOL-GEL 法制备及性能研究 | 第20-31页 |
| ·引言 | 第20页 |
| ·实验过程 | 第20-24页 |
| ·PZT 铁电薄膜微结构分析 | 第24-26页 |
| ·PZT 铁电薄膜的电性能研究 | 第26-30页 |
| ·小结 | 第30-31页 |
| 3 CO掺杂PZT 铁电薄膜的制备及性能研究 | 第31-43页 |
| ·引言 | 第31-32页 |
| ·实验过程 | 第32-33页 |
| ·PCZT 铁电薄膜的X 射线衍射分析 | 第33-34页 |
| ·PCZT 铁电薄膜的电性能研究 | 第34-41页 |
| ·小结 | 第41-43页 |
| 4 CO 和NB 掺杂PZT 铁电薄膜的制备及性能研究 | 第43-53页 |
| ·引言 | 第43页 |
| ·实验过程 | 第43-44页 |
| ·PCNZT 铁电薄膜的X 射线衍射分析 | 第44-45页 |
| ·PCNZT 铁电薄膜的电性能研究 | 第45-51页 |
| ·小结 | 第51-53页 |
| 5 全文总结 | 第53-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第60页 |