| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-20页 |
| ·研究背景 | 第7-10页 |
| ·引言 | 第7-8页 |
| ·微细加工技术定义及分类 | 第8页 |
| ·微细加工技术水平现状 | 第8-10页 |
| ·现有微细加工方法简介及比较 | 第10-18页 |
| ·硅微加工 | 第10-11页 |
| ·LIGA工艺 | 第11-12页 |
| ·微细机械加工 | 第12页 |
| ·特种微细加工方法 | 第12-14页 |
| ·基于扫描探针技术的纳米加工 | 第14-17页 |
| ·各种微细加工技术的比较 | 第17-18页 |
| ·本课题的立题意义及主要工作 | 第18-20页 |
| 第二章 激光捕捉(Laser Trapping)技术的发展 | 第20-30页 |
| ·激光捕捉技术的提出 | 第20-23页 |
| ·辐射压(Radiation Pressure)概述 | 第20-22页 |
| ·激光捕捉(光镊)技术的历史 | 第22-23页 |
| ·光镊技术的应用及研究现状 | 第23-29页 |
| ·光镊的特点及应用 | 第23-28页 |
| ·光镊的研究现状 | 第28-29页 |
| ·激光捕捉微粒子实现微细加工的设想 | 第29-30页 |
| 第三章 激光捕捉微粒子实现微细加工的理论论证 | 第30-68页 |
| ·辐射压 | 第30-34页 |
| ·光束的动量 | 第30-31页 |
| ·光线与粒子表面相互作用时产生的辐射压 | 第31-34页 |
| ·光镊的原理 | 第34-38页 |
| ·光镊的产生 | 第34-37页 |
| ·定性分析粒子束缚条件 | 第37-38页 |
| ·计算机仿真模型 | 第38-56页 |
| ·高斯光束特性 | 第38-48页 |
| ·捕捉力和光力矩的产生 | 第48-49页 |
| ·粒子模型 | 第49-51页 |
| ·仿真坐标系的建立与变换 | 第51-54页 |
| ·光线追迹 | 第54-56页 |
| ·仿真程序流程 | 第56页 |
| ·仿真程序工作界面简介 | 第56-59页 |
| ·计算机仿真结果与分析 | 第59-67页 |
| ·光镊中任意形状的微粒子受力仿真 | 第59-65页 |
| ·光镊系统各参数对捕捉力的影响 | 第65-67页 |
| ·结论 | 第67-68页 |
| 第四章 激光捕捉微粒子实现微细加工的实验论证 | 第68-83页 |
| ·实验装置 | 第68-75页 |
| ·捕捉实验 | 第75-80页 |
| ·捕捉粒子的选择 | 第75-76页 |
| ·实现微粒子的捕捉 | 第76-77页 |
| ·实现微粒子的旋转 | 第77-79页 |
| ·获得稳定捕捉对入射激光的要求 | 第79-80页 |
| ·加工实验 | 第80-83页 |
| 第五章 全文工作总结与展望 | 第83-85页 |
| ·工作总结 | 第83-84页 |
| ·应用前景展望 | 第84-85页 |
| 参考文献 | 第85-88页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第88-89页 |
| 致谢 | 第89页 |