| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-14页 |
| ·超硬涂层技术国内外研究现状 | 第7-11页 |
| ·三氧化二铝硬质涂层的特点和在机械领域的应用 | 第11-12页 |
| ·目前存在的问题 | 第12-13页 |
| ·本课题主要研究内容、目的和意义 | 第13页 |
| 本章小结 | 第13-14页 |
| 第二章 单体泵表面（38CrMoAl）磁控溅射镀膜实验的研究 | 第14-23页 |
| ·溅射镀膜原理 | 第14-15页 |
| ·溅射机理及特点 | 第15-16页 |
| ·基本溅射类型 | 第16-18页 |
| ·实验设备及材料 | 第18-19页 |
| ·基片前处理 | 第19-20页 |
| ·薄膜的制备 | 第20-22页 |
| 本章小结 | 第22-23页 |
| 第三章 工艺参数对三氧化二铝硬质薄膜制备的影响 | 第23-32页 |
| ·工艺参数对三氧化二铝硬质薄膜硬度的影响 | 第23-26页 |
| ·三氧化二铝硬质薄膜工艺参数之间的关 | 第26-30页 |
| 本章小结 | 第30-32页 |
| 第四章 三氧化二铝硬质薄膜性能测试结果的分析 | 第32-39页 |
| ·三氧化二铝薄膜的性能和结构研究 | 第32-37页 |
| 本章小结 | 第37-39页 |
| 结论 | 第39-40页 |
| 致谢 | 第40-41页 |
| 参考文献 | 第41-44页 |