| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第一章 引言 | 第10-14页 |
| ·研究背景 | 第10-12页 |
| ·微团簇研究的历史概况 | 第10-11页 |
| ·H_3~+尾流效应研究的意义 | 第11-12页 |
| ·研究思路 | 第12-13页 |
| ·研究内容 | 第13-14页 |
| 第二章 H_3~+尾流效应实验研究的装置和多路能谱数据获取与处理系统 | 第14-36页 |
| ·团簇碰撞实验装置 | 第14-23页 |
| ·磁分析系统 | 第15页 |
| ·中性化系统 | 第15-16页 |
| ·准直系统 | 第16-18页 |
| ·束流净化系统 | 第18-19页 |
| ·靶室系统 | 第19-21页 |
| ·真空系统 | 第21页 |
| ·产物分析与探测系统 | 第21-22页 |
| ·装置的技术指标 | 第22-23页 |
| ·基于ISA 总线的智能高速AD 数据获取电路 | 第23-27页 |
| ·硬件系统 | 第24-25页 |
| ·软件流程 | 第25-27页 |
| ·接口电路的性能指标 | 第27页 |
| ·多路能谱数据获取系统的构成 | 第27-28页 |
| ·WINDOWS 环境下的系统软件 | 第28-30页 |
| ·超薄膜厚度的在线测量 | 第30-35页 |
| ·测量原理和方法 | 第31-32页 |
| ·束流方向的改变对测量精度的影响 | 第32-33页 |
| ·对称探测器方法测量超薄碳膜厚度 | 第33-34页 |
| ·碳膜厚度的实际测量结果 | 第34-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 尾流效应研究中的等离子模型 | 第36-42页 |
| ·库仑爆炸 | 第36页 |
| ·尾流效应 | 第36-37页 |
| ·等离子模型 | 第37-41页 |
| ·尾流势 | 第37-39页 |
| ·尾流力的影响 | 第39-41页 |
| ·H_2~+与固体相互作用的尾流效应简介 | 第41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 H_3~+三体尾流效应理论研究 | 第42-59页 |
| ·H_3~+的形成机理 | 第42-43页 |
| ·H_3~+的结构获得 | 第43-45页 |
| ·团簇在介质中的电荷交换 | 第45-48页 |
| ·三体尾流效应模型建立 | 第48-50页 |
| ·理论推导公式和方法 | 第50-56页 |
| ·计算结果和讨论 | 第56-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 全文总结和展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 硕士研究生期间完成的论文： | 第66页 |