陶瓷材料的准分子激光刻蚀加工试验研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| ·论文的选题背景及意义 | 第9-12页 |
| ·准分子激光的原理及特点 | 第12-14页 |
| ·准分子激光器 | 第12页 |
| ·准分子激光加工原理 | 第12-13页 |
| ·准分子激光加工的优点 | 第13页 |
| ·准分子激光加工系统 | 第13-14页 |
| ·准分子激光微细加工的研究现状 | 第14-15页 |
| ·课题来源及本文主要研究内容 | 第15-17页 |
| ·课题来源 | 第15页 |
| ·主要研究内容 | 第15-17页 |
| 2 准分子激光刻蚀陶瓷试验的准备及方案 | 第17-40页 |
| ·三维锥形波纹面的加工方法 | 第17-22页 |
| ·控制参数变量的周向加工方法 | 第19-20页 |
| ·控制参数变量的径向加工方法 | 第20-21页 |
| ·投影光刻技术 | 第21页 |
| ·切片分层的加工方法 | 第21-22页 |
| ·陶瓷试件的制备 | 第22-31页 |
| ·密封环用陶瓷的结构和性能 | 第22-25页 |
| ·试验样品的种类 | 第25-27页 |
| ·试验样品的切割及清洗 | 第27-29页 |
| ·试验样品的研磨及抛光 | 第29-31页 |
| ·准分子激光刻蚀加工光路及平台的搭建 | 第31-38页 |
| ·光路设计用元器件 | 第31-34页 |
| ·光路设计方案 | 第34-38页 |
| ·光路的调节 | 第38页 |
| ·小结 | 第38-40页 |
| 3 陶瓷材料的准分子激光刻蚀加工工艺试验 | 第40-52页 |
| ·陶瓷材料的准分子激光单点刻蚀加工试验 | 第40-45页 |
| ·试验材料 | 第40页 |
| ·试验目的及方法 | 第40页 |
| ·试验结果及分析 | 第40-45页 |
| ·陶瓷材料的准分子激光脉冲扫描刻蚀加工试验 | 第45-51页 |
| ·光斑重叠率对加工的影响 | 第47-48页 |
| ·光斑能量密度对加工的影响 | 第48-50页 |
| ·脉冲频率对加工的影响 | 第50-51页 |
| ·小结 | 第51-52页 |
| 4 陶瓷材料的准分子激光刻蚀加工机理分析 | 第52-64页 |
| ·微观形貌检测分析 | 第52-57页 |
| ·刻蚀表面形貌及晶粒分布 | 第53-55页 |
| ·Al_2O_3陶瓷与蓝宝石两种材料刻蚀表面对比 | 第55-57页 |
| ·加工区域表面元素检测分析 | 第57-60页 |
| ·加工区域表面分子结构检测分析 | 第60-63页 |
| ·小结 | 第63-64页 |
| 结论 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
