| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·超光滑表面的概念 | 第8-9页 |
| ·超光滑表面的应用 | 第9-11页 |
| ·超光滑表面制造技术的发展 | 第11-15页 |
| ·我国的超光滑表面加工技术现状 | 第15-16页 |
| ·超光滑表面加工技术发展趋势 | 第16页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第16-18页 |
| 第二章 抛光状态及抛光力的分析 | 第18-30页 |
| ·引言 | 第18页 |
| ·抛光状态的物理模型及转速分析 | 第18-19页 |
| ·相对瞬时速度的影响 | 第19-20页 |
| ·流体动力学基本方程 | 第20-21页 |
| ·楔角平面模型的流体动力学分析 | 第21-24页 |
| ·计算实例 | 第24-25页 |
| ·工件与抛光模间动压膜的承载能力 | 第25页 |
| ·实验验证 | 第25-28页 |
| ·基于聚氨酯抛光模的实验[32] | 第26页 |
| ·基于锡抛光模的实验 | 第26-28页 |
| ·小结 | 第28-30页 |
| 第三章 超光滑表面抛光机理及主要影响因素分析 | 第30-46页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·原子级材料去除模型 | 第30-32页 |
| ·超光滑抛光中材料去除机理 | 第32-33页 |
| ·抛光液分析 | 第33-39页 |
| ·抛光粉粒度及粒度分布范围的影响 | 第33-35页 |
| ·抛光粉硬度的影响 | 第35页 |
| ·抛光粉的实验选型 | 第35-38页 |
| ·抛光液PH值的影响 | 第38-39页 |
| ·抛光模分析 | 第39-43页 |
| ·沥青抛光模制作 | 第39-40页 |
| ·抛光模微孔结构 | 第40-41页 |
| ·抛光模面形的影响 | 第41-43页 |
| ·去除率对表面粗糙度的影响 | 第43-44页 |
| ·小结 | 第44-46页 |
| 第四章 三种典型光学材料超光滑表面抛光实验研究、工艺优化及测量 | 第46-61页 |
| ·引言 | 第46-47页 |
| ·实验与优化 | 第47-56页 |
| ·微晶玻璃单因素抛光实验 | 第47-48页 |
| ·微晶玻璃抛光工艺参数优化 | 第48页 |
| ·石英玻璃超光滑抛光正交实验 | 第48-52页 |
| ·石英玻璃抛光工艺参数优化 | 第52-53页 |
| ·K9玻璃超光滑抛光正交实验 | 第53-56页 |
| ·K9玻璃抛光工艺参数优化 | 第56页 |
| ·超光滑表面粗糙度的测量 | 第56-59页 |
| ·小结 | 第59-61页 |
| 第五章 总结与展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 攻读学位期间的主要研究成果 | 第67页 |