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人工机械瓣材料表面沉积类金刚石膜及耐磨性研究

摘要第1-7页
Abstract第7-11页
第1章 绪论第11-17页
   ·类金刚石膜简介第11-12页
     ·类金刚石膜的结构与性质第11页
     ·类金刚石膜的制备方法第11-12页
   ·人工机械瓣表面改性研究现状第12-14页
     ·人工心脏瓣膜简介第12-13页
     ·人工机械瓣失效及表面改性第13-14页
   ·本论文的研究内容和意义第14-16页
     ·本论文的研究内容第14页
     ·本论文的研究意义第14-16页
   ·本章小结第16-17页
第2章 实验方法及设备第17-25页
   ·实验方案第17-18页
   ·样品制备第18页
   ·薄膜沉积设备及方法第18-22页
     ·磁过滤阴极真空弧源沉积第18-20页
     ·等离子体浸没离子注入与沉积第20-21页
     ·薄膜制备的方法步骤第21-22页
   ·薄膜表征方法及设备第22-24页
     ·摩擦磨损实验第22页
     ·X射线光电子能谱第22-23页
     ·显微硬度检测第23页
     ·厚度与应力检测第23页
     ·表面形貌观察第23页
     ·疲劳试验第23-24页
   ·本章小结第24-25页
第3章 FCVAD法用于DLC膜制备第25-45页
   ·环内贴片镀膜方法及工艺第25-27页
     ·环内贴片镀膜方法第25-26页
     ·环内贴片镀膜工艺第26-27页
   ·环内贴片薄膜评价第27-33页
     ·X射线光电子能谱检测第27-29页
     ·显微硬度检测第29-30页
     ·摩擦磨损试验第30-33页
   ·模拟摩擦磨损试验第33-38页
     ·LTIC瓣叶镀膜方法及工艺第34页
     ·X射线光电子能谱检测第34-35页
     ·摩擦磨损试验第35-38页
   ·TI6AL4V瓣环薄膜沉积第38-43页
     ·Ti6Al4V瓣环镀膜方法及工艺第38-39页
     ·Ti6Al4V瓣环薄膜XPS检测结果第39-42页
     ·疲劳试验第42-43页
   ·本章小结第43-45页
第4章 PIIID法用于DLC膜制备第45-59页
   ·环内贴片镀膜方法及工艺第45-46页
   ·甲烷处理对TI6AL4V基底的影响第46-48页
     ·X射线光电子能谱检测第46-47页
     ·摩擦磨损试验第47-48页
   ·乙炔气体沉积薄膜的评价第48-57页
     ·X射线光电子能谱检测第48-51页
     ·厚度与应力检测第51-53页
     ·显微硬度检测第53-54页
     ·摩擦磨损试验第54-57页
   ·本章小结第57-59页
结论第59-60页
致谢第60-61页
参考文献第61-67页
攻读硕士学位期间发表的论文第67页

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